プラズマ洗浄機械親水性改質脱膠設備

プラズマ洗浄機械親水性改質脱膠設備材料の接着性と湿潤性を高め、異なるタイプの汚染物と不純物を除去することにより、その後の工程に良好な基礎を築く

プラズマ洗浄機械の親水性改質脱膠設備はウェハレベルパッケージ前面前処理、ウェハレベル結合前面活性化、フォトレジストコーティング前面活性化、ウェハ表面の小さなparticle除去、表面有機残留除去などに用いられる。

プラズマ洗浄機の表面処理技術設備は製品の性能、付着力、親水性、延性を向上させる

プラズマ洗浄機器は各種材料の表面改質処理効率が高い、汚染がない、適用範囲が広い、表面清浄度が高い、処理時間が短いなどに用いられる

プラズマ洗浄機は複雑な構造を洗浄することができ、プラズマ脱ゲルエッチング機械は洗浄能力が高い。表面の酸化物などの不純物を素早く除去することができる。

プラズマ洗浄機は金属、半導体、酸化物、高分子材料などに対してよく処理でき、全体と局所及び複雑な構造の洗浄を実現することができる。

プラズマ洗浄機は表面洗浄、活性化、エッチング、コーティングなどの多種の処理効果を実現することができ、従来の洗浄処理の方式では除去できなかった製品表面汚染物、有機微粒子物などを効果的に除去することができる。