ペロブスカイト真空成膜機

ペロブスカイト真空成膜機補助成膜結晶装置である。本設備は主に湿潤膜法によるペロブスカイト薄膜の製造技術に設計され、設備は迅速に低い真空条件を創造することができ、それによって液体溶媒の沸点を低下させ、溶媒の揮発を加速させ、ペロブスカイト薄膜の形成に有利である。高速真空処理後の薄膜は、結晶が緻密で均一に形成されている。この設備は実験室及び科学研究機関がペロブスカイト薄膜太陽電池を製造するための重要な核心設備である。

真空引き速度が速い

5秒10 Paの抽気速度は大面積高速核形成予備結晶にとって極めて重要である。合理的な設計と良質な真空ポンプの組み合わせは高度に安定した真空システムを持ち、そして特別に最適化された対称ガス路設計を採用し、ペロブスカイト薄膜の形成に清浄空間を提供し、真空速度を満たすと同時に極限真空要求にも達し、外部不純物と各種要素の干渉を回避し、ペロブスカイト薄膜のプロセスをより安定させ、性能をより優れたものにした。

◆限界真空度が高い

限界真空度はより多くの溶媒系に適用でき、厚膜が700 ~ 800 nmに残っている溶媒の脱着に有利である。

◆インターフェースが操作しやすい

長期的に最適化された制御システムを採用し、操作インタフェースは簡潔で直感的で、初めて使用しても短時間で操作フローを熟知することができる。

◆長寿命

設計時にメンテナンスの利便性を十分に考慮し、その内部構造は合理的で、部品の清掃と交換が容易で、これはユーザーのメンテナンスコストを下げるだけでなく、設備の使用寿命を高めた。