パリリン真空コーティング機Paryleneコーティングシステム

パリリン真空コーティング機Paryleneコーティングシステム実験室応用のために最適化設計され、内蔵プラズマ源を備え、材料表面の前処理に使用でき、膜基の結合性能を効果的に向上させることができる。パリンめっき膜（Parylene）は化学蒸着（CVD）プロセスにより形成された超薄ポリマー保護層であり、分子級均一被覆、化学不活性、優れた誘電特性及び生体適合性などの特徴を有する。

パリリン真空コーティング機Paryleneコーティングシステム次の特徴があります。

1、この型番Paryleneめっきシステム科学研究実験室にも適用できるし、生産環境にも使用できる。

2、特に中小企業と研究開発チームのニーズに対して機能最適化を行う、

3、多種のオプションコンポーネントを配置することにより、設備の適用性と柔軟性をさらに向上させ、そのプロセスチャンバ容積は需要に応じて調整でき、最小容積は251 Lに達することができる、

4、設備標準配置はプラズマ処理モジュールを含む、

5、クリーンルーム専用バージョンを提供して選択する；

Paryleneコーティングの典型的な用途：

鄒半導体パッケージ：チップレベル防湿、MEMSデバイスの三次元構造保護及びウエハ仮めっき

鄒LED照明鄒：光抽出効率、放熱性能及び耐候性を向上させ、寿命を7万時間まで延長する鄒

鄒自動車電子鄒：ECUモジュール保護、−40 ~ 150℃の温度変動及び塩霧環境に耐える

Labcoater Series 300パリン真空被覆設備：

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