MiniSIMS-ToF飛行時間二次イオン質量分析計

飛行時間二次イオン質量分析（ToF‑SIMS）は現在の表面分析分野で最も情報が豊富な技術の一つである。この技術はサンプルの最外層（サブナノメートル深さ）の元素、同位体及び分子構造情報を同時に取得することができ、ミクロン級からミリ級領域までのイメージング分析、及び深さ方向の成分分布（深さ分析）を実現することができる。通常の元素分析手段と異なり、ToF‑SIMSは有機物、無機物に対して極めて良好な検出能力を有し、特に未知物識別、表面改質研究、失効分析及びナノフィルム特性評価などのシーンに適している。

MiniSIMS-ToF飛行時間二次イオン質量分析計R&D 100賞など多くの国際的な賞を受賞した卓上型二次イオン質量分析計で、サインズ（SAI）社が革新的に開発した。従来、大型超高真空システムを必要としていたSIMS能力を1台のデスクトップ装置に統合し、実験室空間と付帯施設に対する要求は極めて低く、単一サンプルの検査コストは従来装置に比べて最大90%削減できる。

従来の四重極ロッドSIMSに比べて、ToF分析器は速度、情報量、未知物発見能力に天然の優位性を持っている。一方、MiniSIMS‑ToFはさらにこの*能力をデスクトップ化、低ランニングコストの形で提示し、より多くの実験室と工業ユーザーが真のSIMS分析に負担し、恩恵を受けることができるようにした。

MiniSIMS-ToF飛行時間二次イオン質量分析計コアアドバンテージ

1、一機多能
静的SIMS（表面単分子層分析）、イメージングSIMS（空間分布可視化）及び動的SIMS（深さ分析）の3種類の作業モードをサポートし、科学研究から工業失効分析までの広範な需要をカバーする。

2、飛行時間質量分析器
ToF技術を採用し、準並列検査を実現し、すべての質量数を同時に収集する。

3、デスクトップのコンパクト設計
全体の敷地面積は0.5平方メートル未満、重量は約60キロで、特別な水冷や大電力の電力供給を必要とせずに通常の実験台に簡単に設置できる。

4、高速起動と高スループット
大気から作業真空まで数分しかかからず、高効率なデータ収集能力を配合し、日常分析効率を著しく向上させ、特に多ロットサンプルスクリーニングに適している。

5、未知物識別能力
失効分析及び最前線研究に対して、未知成分の発見は往々にして突破口である。

典型的な応用分野

電子部品：パッド汚染分析、表面残留物鑑定

コーティング：コーティング均一性、層間界面解析

センサ：感受性材料の表面化学状態特性評価

摩擦学：潤滑剤移動、摩耗表面解析

触媒：活性成分分布、失活原因の探求

接着剤とフィルム：接着界面化学、超薄膜成分

生体材料：医療機器表面改質評価

腐食と保護：腐食生成物識別、不動態化膜分析

記憶装置：磁気ヘッド/ディスク表面汚染制御