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江蘇省蘇州市呉江区黎里鎮芦墟臨上海大道3335号工場棟
江蘇容道社半導体設備科学技術有限公司
江蘇省蘇州市呉江区黎里鎮芦墟臨上海大道3335号工場棟
PC-4型プラズマ洗浄機説明
自動ワンクリック操作で、8インチ以下の基板使用を満たす
処理可能な形状の複雑な材料
低温プラズマ、エネルギーが低く、密度が高く特殊材料の処理に適している
環境汚染がなく、化学品汚染がなく、機械自体に汚染が発生しない
外形寸法:620 mm(W)*550 mm(D)*410 mm(H)
PC-4型プラズマ洗浄機パラメータ | |
むせんしゅうはでんりょく |
0~300 W調整可能 |
むせんしゅうはすう |
13.56MHz |
せいごうき |
自動照合 |
ガス制御 |
2ウェイMFC |
有効処理寸法 |
L200mm*W200mm |
時間設定 |
6000秒 |
真空ポンプ |
8m³/h |
ガス安定時間 |
30秒 |
真空度 |
<10Pa |
電源入力 |
AC220V |
江蘇容道社半導体設備科学技術有限公司は2023年11月20日に設立され、本社は江蘇蘇州呉江汾湖ハイテク区BGT園区内にあり、敷地面積は5000+平方メートル、専門的な黄光生産実験区及び半導体装置の生産組立及び試験工場を有し、時間と共に前進し、業界の技術発展に密着し、革新を続けることができる技術と製品の研究開発チームを持っている、容道社はすでに自主的に制御可能な均質ゴム機械、現像機、均質ゴム機械スピンコーター、焼きゴム機、塗膜機、スクレーパー、塗布機、塗布機、塗布機、脱ゴム機、紫外線洗浄機、均質ゴム現像一体機、プラズマ洗浄機、金属はく離ゴム除去機、湿式洗浄機などの冷熱処理とカスタマイズの需要などの設備製品シリーズと独立モジュール製品を形成し、異なる技術等級の顧客要求に適応することができる、容道社の自主製品はすでに顧客の現場検証を通じてウエハ上材料、プロセス転送、均質ゴム、現像、金属はく離ゴム、洗浄などの一連の生産プロセスチェーンのプロセス化を実現し、欠陥の共同防止を工場の自動化、情報化、知能化に達成した。