大判サンプル光学プロファイル計

特徴

ウェイト制限なし-無限の測定能力

600×600mmの広い移動範囲、毎秒1メートルという驚異的なスピード。閉ループXYドアフレームの設計は、重量制限を恐れず、性能は一貫している。

安心して使える

認証された半導体特性評価，このシステムは入念に設計され、SEMI S 2とS 8など多くの業界標準に適合し、ドイツラインを通過したTÜV の資格認定。

トリプルテクノロジー

非常に高い測定汎用性、クリーンゲージヘッドS neox クリーンルーム特定のサンプルごとに適切な技術を用いてイメージングを行い、サブナノスケール精度を実現する3つの異なる光学技術を提供する。

厳密な適合ISO 1レベル

クリーンルームに適用する、測定センサ適合ISO 1級規格。本体はステンレス製で、微粒子の排出を減らすことができる。

ソフトウェア

組み込み収集ソフトウェア：統合ソフトウェアソリューション

この測定システムは使いやすい測定の自動化により多くの強力な機能を提供するSensosCAN制御。

センソプロ-高速品質管理

プラグインベースのソリューション、SensoPROには多くのプラグインがあり、一般的な自動分析ニーズとカスタムアプリケーションを満たすことができます。

コンシューマーエレクトロニクス製品向けにカスタマイズされたソリューション

SensoPROソフトウェアは品質制御において分析の自動化を実現し、大量のデータを効率的に処理することができる。デルは、コンシューマエレクトロニクス業界の特別な要件に対応するためのカスタムプラグインのシリーズを提供しています。

センソビュー-強力な分析ソフトウェア

解析視野を広げる,SensoVIEWは、さまざまなタスクに適した理想的な分析ソフトウェアです。2 Dおよび3 Dデータセットからデータを抽出できる完全なツールキットを備えています。

ひょうめんかいせき

SensoVIEWは専門のオペレータにユーザーフレンドリーなステップインタフェースを提供し、対応するISO規格に従って平面度と表面テクスチャパラメータを抽出し、体積計算などを行うことができる。

すんぽうそくてい

プロファイルと断面図のキー寸法解析に使用できるツールはいくつかあります。各ツールには自動調整機能が搭載されており、公差を組み込むことができ、全面的な寸法分析ができるようになっています。

仕様

技術

照明光源

寸法（mm／'）

対物レンズ-明場

対物レンズ-干渉

PSI/ePSI/CSI

りゅうもんしきXYプラットフォーム

標準資格認定