オプチカルプロファイルメータ

特徴

驚異的な測定速度

新しいスマートアルゴリズムと新しいカメラを採用することで、驚くべき測定速度を達成した。データ収集速度が180 fps。標準的な測定収集速度は以前より5倍速い。S neoxは市場で極めて高速な表面測定システムとなっている。

使いやすい

Sensofarは、お客様に最も信じられない体験を提供することに力を入れています。第5世代S neoxシステムの誕生に伴い、使いやすく、直感的で、より迅速にすることを目指しています。初心者でもクリックするだけで、測定を操作できます。モジュール化されたソフトウェアは、ユーザーの多様なニーズにシステムを適応させる。

柔軟で多様な機能

品質管理

豊富な自動化モジュールで、品質管理を容易にします。オペレータアクセス権制御、測定プログラム記憶、互換性からバーコードへ/QRリーダー、および私たち専用SensoPROソフトウェアのカスタムプラグインは、分析レポートを自動的に生成することができます。デルの最適化ソリューションは、プログラム可能で24時間稼働する柔軟性と使いやすいインタフェースを備えたQC環境で動作します。

研究開発

Ssnsofarの3つの方法は1回クリックするだけで、システムは現在の測定タスクに適したスキャン方法に切り替えることができます。S neoxセンサヘッドには、共焦点、干渉、Ai多焦点面重畳の3つの測定技術が配置され、これらはシステムの多機能性に重要な貢献をし、データ収集中のノイズを非常に効果的に削減するのに役立つ。S neoxはすべての実験室環境の理想的な選択であり、適用範囲は広い。

よんごうぎじゅつ

1）共焦点モード

共焦点技術を用いて各種サンプル表面の形態を測定することができる，光学顕微鏡よりも横方向の分解能が高く、0.10 um.これを利用して臨界寸法の測定を実現することができる。150倍、0.95開口数のレンズを用いた場合、共焦点は平滑面で70°（粗面86°）の傾きを測定した。

共焦点アルゴリズム保証Z軸測定の再現性はナノドメインにある。

2）位相差/白色光干渉モード

位相差干渉は、滑らかな表面の高度な形態を測定するためのサブナノスケール精度の技術である。その利点は、どの増幅倍数でもサブナノスケールの縦分解能を保証できることです。使用する2.5倍のレンズで超高縦解像度の大視野測定が可能です。

白色光干渉は、様々な表面の高度な形態を測定するためのナノスケールの測定精度の技術である。その利点は、どの増幅倍率でもナノスケールの縦分解能を保証できることです。

3)多焦点面重畳モード

多焦点面重畳技術は、非常に粗い表面形態を測定するために用いられる。共焦点技術と干渉技術の融合応用における私たちの豊富な経験に基づいて、特にこの機能を設計して低倍共焦点測定の需要を補充した。このテクノロジーの最大のハイライトは、高速(mm/s)、走査範囲が広く、支援スロープが大きい（最大86°）。この機能は、ワークピースと金型の測定に特に役立ちます。

4)薄膜（はくまく）

フィルム測定技術は光学透明層の厚さを迅速、正確、非破壊的に測定し、サンプルの調製を必要としない。このシステムは可視光範囲内のサンプルの反射スペクトルを取得し、ソフトウェア計算のシミュレーションスペクトルと比較し、正確に一致する厚さを見つける。1秒未満で測定できます50 nmから1.5μmの透明膜。測定スポットは対物レンズ増幅率に依存し、0.5μmから40μmの範囲であった。

LED光源の利点

用いるLEDはレーザーよりも照明光源の方が優れている，まずLED光源はレーザ光源のスペックル現象の発生を回避することができる。次にLED光源の使用寿命は約50,000時間（レーザー光の約25倍）である。最も重要なのは、複数のLEDがサンプルのニーズに応じて適切な波長を選択して測定できることを意味する。選択:630 nm赤色光、530 nm緑色光、460 nm青色光、575 nm白色光。

トレーサビリティ精密測定

各SNEOXはいずれも正確かつトレーサビリティな測定を実現するためのものである。我々の装置は、ISO 25178のPart 700およびPart 600規格に準拠したトレーサビリティ規格ブロックを用いて補正を行っている。高さと水平精度、平面度偏差、システム解像度などを含むすべての指標は、このような標準ブロックを測定するために得られる。私たちはすべての測定装置をこの基準に従って実行することを堅持します。

Sネオックス出荷前に計量され、遡及可能な標準ブロックを用いて校正を行い、基準に合致していることを確認してから出荷する。同時にSENSOFARは測定精度と再現性の測定報告書を設備に添付する。

高解像度

垂直分解能は計器ノイズによって制限され、計器ノイズは干渉測定に対して固定であるが、共焦点測定に依存する数値孔径である。Sensofar独自アルゴリズムは、光学機器のより良い横方向分解能を測定技術にナノサイズのシステムノイズを提供する。示された形態はサブナノメートル（0.3 nm）原子層である，由PTB提供。

DIC観察

びぶんかんしょう（DIC）は、通常の観察ではコントラストがない非常に小さな高さ特徴を強調するために使用される。Nomarskiプリズムを使用することにより、干渉画像が生成され、明視野または共焦点画像では見えないサブナノスケール構造が解決された。

デザイン

多様な構成スキーム-プラットフォームサイズ（4インチ～12インチ）

超大型スタンド

ソフトウェア-ブートストラップシステム

SensosSCANソフトウェアは、明確で直感的でユーザーフレンドリーなインタフェース駆動システムを介しています。ユーザーは3 D環境をブラウズし、良好なユーザー体験を得るように誘導されます。

じどうかプログラムモジュール

自動測定モジュールにより、お客様はカスタムプログラミングを容易に実現し、品質管理と検査の目標を達成することができます。手動で測定点座標を設定するか、座標ファイルをインポートし、座標ごとに測定プログラムを一括設定し、自動映像認識対位点を設定し、最後に公差範囲とレポート出力フォーマットを定義すればすべてのプログラミング作業が完了する。

マルチポイントプログラミング測定

SNEOXは新しいプログラミング方式を設計した。つまり、同じ構造または製品タイプを自動的に識別することで、プログラムは同じ位置に測定ポイントとプログラムをコピーします。これにより、プログラミングの効率が大幅に向上し、人がプログラミングする時間が節約されます。

自動認識位置合わせ

画像自動認識により位置を自動的に特定し、位置補正を自動的に行うことで、無人介入の全自動測定を実現した。手動抜取検査を行っていたデスクトップを、手動で片を入れさえすれば自動的に測定して報告できる半自動検出装置に変身させた。自動的に位置を識別する機能もオフライン抜取検査設備の工業向けである4.0の能力。

拡張測定モジュール-最高到達可能500Mpx

SensosCANの拡張測定モジュールにより、概観画像を通じて表面上に測定レイアウトを簡単に定義することができます。測定領域は、必要な矩形、円形、または環状の領域に自動的に切り取ることができます。5億画素までの大面積測定に適している。垂直走査範囲を最小化するために、各視野に自動焦点を当てたり、フォーカストラッキングを行ったりするなど、さまざまな走査ポリシーを提供します。

SensoVIEWの強力な分析ソフトウェア

3 Dおよび2 Dインタラクティブビューには、さまざまなスケール、表示、およびレンダリングオプションが用意されています。3 Dまたは2 D測定の予備検査と分析に適するツールキットを提供する。臨界寸法、角度、距離、直径を測定し、新しい注釈ツールを使用して特徴を強調表示します。

使いやすく、シンプルだがパワフルで、お客様のために設計されている

Sensofarシステムに搭載されているこの動的ソフトウェアは、測定値を表示して分析するためのユーザーフレンドリーなツールセットを提供しています。ユーザーはトレーニングと指導を受け、3 D環境に精通し、よいのユーザー体験：1回クリックするだけで演算子、デザインスタイルが注目されるアイコン、よりわかりやすい機能、同期された3 D、2 D、断面図を呼び出すことができ、これらはすべてSensoVIEWソフトウェアの主要な特徴の一部にすぎません。

1）独自のビューを選択します。3 Dおよび2 Dインタラクティブビューには、さまざまなスケール、表示、レンダリングオプションが用意されています。

2）データの処理：データ情報の処理、または代替レイヤーの一連の演算子の生成。

3）分析ツールとの相互作用：3 Dまたは2 D測定値の予備検査と分析に必要な多種の分析ツール。

4）あなたの分析応用：分析テンプレートを作成して一連の測定結果を作成し、同じプリセットプロセスを使用して分析する。

5）結果の取得：カスタマイズ可能なレポートを取得するか、複数のフォーマットで3 D測定データをエクスポートします。

ISOパラメータ-キーパラメータのインテリジェント計算ツール

SensoVIEW解析ソフトウェアは、ISO 21920と25178に基づいて粗さパラメータの表面テクスチャパラメータを取得し、ISO 12781に基づいて平坦度パラメータの表面テクスチャパラメータを取得するための具体的なステップガイドを提供しています。これは粗さとうねりISO規格を満たす方法であり、分析過程を簡略化した。

ISO 21920計算

それはISO 21920は、主波形を自動的にフィルタリングし、粗さ（Rx）とうねり（Wx）パラメータを得る。パラメータの計算には、事前定義された演算子のセット、フィルタ（F−演算子、S−フィルタ、L−フィルタ）、その他の設定が含まれます。

ISO 25178計算

もっぱらよく知らないISOフィルタのユーザー設計では、分析する表面タイプを選択するだけで、これらの情報を抽出できるようになりました。この演算子はISO 25178規格に従って表面をフィルタリングし、表面テクスチャパラメータを得ます。

ISO 1278計算

SensoVIEWはISO 12781に基づいて4つの平坦度パラメータを簡単に抽出することができます：ピーク谷比（FLTt）、ピーク参照比（FLTp）、参照谷比（FLPv）と二乗平均根（FLTq）。

ISO規格-表面テクスチャキャラクタリゼーション

ISO 25178：幾何学製品規格（GPS）–表面テクスチャ：表面層規格は国際標準化組織の3 D表面層表面テクスチャの分析に向けて、収集整理の関連する国際規格である。これは3 D表面テクスチャ仕様と測定に関する国際基準であり、特に3 D表面テクスチャパラメータと関連する仕様演算子を定義している。

従って ISO 25178計算表面パラメータ：

高さパラメータ（Z軸方向の高さ値）
空間パラメータ（データの空間周期性）
混合パラメータ：（データの空間形状）
きのうパラメータ
きのうたいせきパラメータ

測定表示-視覚的な外観をより鮮明にする

画像制御オプションは常に発展しており、すべてのサンプルタイプとお客様のニーズによりよく対応しています，さまざまな画像処理設定が各レンダリング可視化オプションに含まれており、スケーリングオプションも用意されており、調整が容易です。

自動管理されたレンダリングビュー

5つのインテリジェントな可視化モード（エラー色、スタック、スタック &エラー色、正しい色、または方向の明るさ)は常に可能

をクリックしてメイン画面で選択します。

自動フロー設定

ユーザーはスケール範囲、Z軸、スタック、色、シャドウの設定。

波形ツール

表示画像と水平、垂直、円形、上部/下部、

自由波形または平均波形。波形データは、さまざまなキーサイズツールを使用して解析できます。

結果-カスタマイズ可能なレポート

異なるレポートテンプレートから選択できるため、ユーザーは各セクションを構成し、できるだけ要件を満たすことができます。測定ごとに、明確で構造的で合理的な報告を得る柔軟な方法については、他の内容に加えて、収集情報、3 Dデータ、2 Dプロファイル、およびすべてのISOパラメータ。

1）自分のヘッダーとフッターを作成する

2）必要なコンテンツを設定する

3）結果を表示するスタイルを選択

4）Excel&PDFフォーマット、編集し放題

エクスポート可能な複数のフォーマットの 3 D画像

出力ファイルを管理するためのいくつかのオプションがあります。にSensoVIEW解析ソフトウェアに測定が保存されている場合、元のデータは常に保持されます。測定表面データは*.dat、*.stl、*.pcl、*.x 3 p形式としてエクスポートできます。

統計計算を使用したエクスポート可能な結果

テンプレートを適用すると、ユーザーはすべてのキー寸法を含んでおり、寸法タイプまたは番号で分類された統計情報のExcelファイル。

SensoPRO高速品質制御

ラインで高速品質制御を実行するのは、これほど簡単ではありません。に利益を与えるSensoPRO，ラインオペレータはサンプルをロードし、ガイド式の説明に従って操作すればよい。プラグインベースのデータ解析アルゴリズムは、高度な柔軟性を提供します。新しいモジュールは、他の業界のニーズに合わせて簡単にカスタマイズできます。

市場-アプリケーションごとのソリューション

他の利用可能なパッケージで必要な機能が見つからないお客様には、開発チームがカスタマイズソリューションを提供します。デルは、エンジニアの専門知識に基づいて、必要なアプリケーションに適したソリューションを求めています。

コンシューマーエレクトロニクス製品

消費者向け電子製品市場には半導体、プリント基板が含まれる（PCB）やディスプレイ業界など。速度と自動化能力を考慮すると、SensoPROは多くのアプリケーション分野で真のコスト削減の利器となっています。

医療設備

医療市場には極めて厳格な品質制御と品質保証基準がある。Sensofarの3 Dオプチカルプロファイルメータ製造プロセスを迅速かつ非破壊的かつ正確に制御することができ、表面テクスチャの品質制御を行うことができる。

作業着

工具の設計と製造はエンドユーザー業界の生産品質に直接影響を与える。SensoPROは、ねじ山の歯底、歯面、歯頂部の寸法測定値を分析したり、ブレードや他の切削工具の刃半径を計算したりする際に非常に迅速です。

自動化-動作原理

このセット64ビットデータ分析ソリューションは、QAエンジニアと技術者が生産パラメータを迅速かつ簡便に分析するための環境を提供します。SensoPROは収集ソフトウェア（SensoSCAN）にリンクすることができ、測定されたデータを自動的にSensoPROに転送して分析することができます。構成が完了したら、1回クリックして測定データを収集し、分析します。

性能-QCマネージャーの管理ツール

オプチカルプロファイルメータの革新的な革新により、可用性が大幅に改善され、パラメータレコードドキュメントの作成時および2つのデータセットを比較して、生産ラインを制御するための重要なパラメータを決定する際に許容差を設定するタスクが簡略化されました。トレーサビリティ生産制御を必要とする非専門ユーザーのために設計されています。

性能-極めて高速

複数のコアを使用できるようになり、大量のオペレーションを同時に実行できるようになったため、システム全体のパフォーマンスが向上しました。より大きなファイルや/またはそれ以上の複数のデータセット。

性能-コマンドラインがあります

このツールは、SensoPROの一括分析作業は独立して実行でき、Sensofarシステムで一括収集しながら集中分析を実現した。このソリューションをSensoSCAN SDKと組み合わせることで、測定しながら分析し（個別のコンピュータ上で）、QCプロセスを高速化することができます。コマンドラインは、SensoPRO解析ソフトウェアを他のソフトウェアから呼び出す簡単な方法です。

結果-パラメータ統計解析モジュール

解析が完了すると、各パラメータの結果と標準偏差が表に表示されます。許容差が適用されている場合、これらの許容差は要約セクションで強調表示されます。

高度な解析ソフトウェア

SensoMAPは、Digital SurfのMountains技術に基づいて開発された強力な分析およびレポートツールです。SensoMAPソフトウェアは、お客様のニーズに対応するためにモジュール化されています。SensoMAPは2つのレベル（標準と階層）と複数のモジュール（2 D、3 Dまたは4 Dモジュール、階層輪郭、粒子と粒子、統計と結合）を提供する。

使いやすい-極めて強力なレポート作成機能

様々な研究と工業応用のために設計されています。SensoMAPソフトウェアは表面イメージング、分析、測定ソリューションであり、Sensofar 3 D光学輪郭計に統合することができる。次の項目があります。

1）イメージング-先端のイメージング技術とインテリジェントフィルタを用いて表面データを可視化する。

2）そくていがく-最新の基準と方法に基づいて分析研究を行う。

3）レポート作成-スマートデスクトップの公開環境で詳細で正確な複数ページの表面解析レポートを作成し、強力な自動化機能により解析プロセスを高速化します。

オプションモジュール

▄ 含まれるモジュール-オプションのモジュール

仕様

デバイスサイズ（mm/インチ）

ベースとポスト

コントローラー

技術

光源

対物レンズ性能-明場

対物レンズ性能-干渉

共焦点／Ai多焦点面重畳

1.最大視野系3/2」カメラおよび光学0.5 X。

2.表面のピクセルサイズ。

3.L&S：線と空間、青色波長。

4.光軸に垂直なキャリブレーションレンズで2回連続して得られた差異からシステムノイズ値を計算した。

5.滑らかな表面上で、最大71º，散乱面で最大86º。

XY軸性能

Z軸性能

システム構成

コンピュータとオペレーティングシステム