OSMSシグマ光機XYZ三軸自動テーブル変位台

OSMSシグマ光機XYZ三軸自動テーブル変位台高剛性・高精度の測定装置または検査装置用ステッピングモータ型自動プラットフォームであり、レール断面はU字形で、自重は軽く、剛性は良い。

OSMSシグマ光機XYZ三軸自動滑台変位台はシグマ光機XY軸とZ軸から直接組み立てられた組み合わせ変位台であり、XY軸はまた2つのX軸から組み立てられ、つまり1つのXYZ三軸の変位台であり、2つのX軸と1つのZ軸だけで組み立てられる。

現在販売されている標準モデルは6種類で、それぞれOSMS20-35(XYZ)、OSMS20-35(XYZ)-M6、OSMS20-35(XYZ)-INCH、OSMS20-85(XYZ)、OSMS20-85(XYZ)-M6、OSMS20-85(XYZ)-INCH，前3モデルのストロークは35 mm、後3モデルのストロークは85 mmで、プラットフォーム面の寸法はすべて85*85 mmで、直径φ6 mm、リード1 mmのボールねじ、U型外ガイドを採用している。

OSMSシグマ光機XYZ三軸自動テーブル変位テーブル分解能（フルステップ）2μm／パルス、分解能（ハーフステップ）1μm／パルス、位置決め精度10μm＜35 mmストローク＞、20μm＜85 mmストローク＞、XY軸垂直度5μm、Z軸垂直度25μm＜35 mmストローク＞、30μm＜85 mmストローク＞。詳細はこちら>>>芬創商城