NS 3500 Solar半導体ウエハ品質検出システム

Name: NS 3500 Solar半導体ウエハ品質検出システム
Brand: Shanghai Juna Technology Co., Ltd
Availability: InStock

ネゴシエーション可能更新05/06

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概要

NS−3500 Solarは信頼性の高い半導体ウエハ検出システムである。高速光走査モジュールと信号処理アルゴリズムによりリアルタイム共焦点顕微鏡画像を実現する。半導体ウェハ、FPD製品、MEMSデバイス、ガラス基板、材料表面などの微視的3次元構造の測定と検出にはさまざまなソリューションがあります。

NS 3500 Solar半導体ウエハ品質検出システム

高速光走査モジュールと信号処理アルゴリズムによりリアルタイム共焦点顕微鏡画像を実現する。微視的三次元構造の測定及び検出においては、半導体ウェハ、FPD製品、MEMS装置、ガラス基板、材料表面などに種々の提供が可能であるソリューション。

機能と利点（性能及び利点）：

応用分野（応用分野）：

NS−3500は、低次元材料を測定するための有望なソリューションである。

ミクロン及びサブミクロン構造の高さ、幅、角度、面積及び体積、例えば

-半導体：ICパターン、凹凸高さ、コイル高さ、欠陥検出、CMPプロセス

-FPD製品：タッチスクリーンスクリーン検出、ITOパターン、LCDカラムピッチ高さ

-MEMSデバイス：構造3次元プロファイル、表面粗さ、MEMSグラフィックス

-ガラス表面：薄膜太陽電池、太陽電池テクスチャ、レーザーパターン

-材料研究：金型表面検査、粗さ、亀裂分析

Specifications（仕様）：

注1：ファインスキャンは圧電アクチュエータ（PZT）により実行されます。

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