大面積高速3 Dレーザスキャナ

ネゴシエーション可能更新05/06

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概要

NS−3500大面積高速3 Dレーザスキャナは、正確で信頼性の高い3次元（3 D）測定高速共焦点レーザ走査顕微鏡（CLSM）である。高速光走査モジュールと信号処理アルゴリズムによりリアルタイム共焦点顕微鏡画像を実現する。半導体ウェハ、FPD製品、MEMSデバイス、ガラス基板、材料表面などの微視的3次元構造を測定し、検出するための*のソリューションを提供しています。

製品詳細

NS-3500L正確で信頼性の高い大面積高速3 Dレーザスキャナ。高速光走査モジュールと信号処理アルゴリズムによりリアルタイム共焦点顕微鏡画像を実現する。半導体ウェハ、FPD製品、MEMSデバイス、ガラス基板、材料表面などの微視的3次元構造を測定し、検出するための*のソリューションを提供しています。

Features&Benefits（性能と利点）：

高分解能無損傷光学3 D測定自動傾斜補償

リアルタイム共焦点イメージングの簡単なデータ解析モード

複数種類の光学ズームダブルZ走査

広範囲の接合半透明基材の特徴検出

リアルタイムCCD明視野と共焦点イメージングのサンプル準備なし

オートフォーカス

Application field（応用分野）：

NS−3500は、低次元材料を測定するための有望なソリューションである。

ミクロン及びサブミクロン構造の高さ、幅、角度、面積及び体積、例えば

-半導体：ICパターン、凹凸高さ、コイル高さ、欠陥検出、CMPプロセス

-FPD製品：タッチスクリーンスクリーン検出、ITOパターン、LCDカラムピッチ高さ

-MEMSデバイス：構造3次元プロファイル、表面粗さ、MEMSグラフィックス

-ガラス表面：薄膜太陽電池、太陽電池テクスチャ、レーザーパターン

-材料研究：金型表面検査、粗さ、亀裂分析

Specification（仕様）：

モデル	顕微鏡NS-3500						備考
	コントローラNS-3500 E
対物レンズ倍率		10倍	20倍	50倍	100倍	150倍
観察/測定範囲	水平（H）：μm	1400	700	280	140	93
	垂直（V）：μm	1050	525	210	105	70
動作範囲：mm		16.5	3.1	0.54	0.3	0.2
開口数（N.A.）		0.30	0.46	0.80	0.95	0.95
光学ズーム		x 1からx 6
ぜんぞうふく倍率		178～26700倍
観察/測定光学系		ピンホール共焦点光学系
高さ測定	スキャン範囲の測定	ファインスキャン：400μm（and/or）長スキャン：10 mm[NS-3500-S]
		長走査：10 mm[NS-3500-T]
	表示解像度	0.001ミクロン
	繰返し率σ	0.010ミクロン					注1
幅メジャー	表示解像度	0.001ミクロン
	繰返し率3σ	0.02ミクロン					注2
フレームメモリ	ピクセル	1024x1024、1024x768、1024x384、1024x192、1024x96
	モノクロ画像	12ビット
	カラー画像	RGB各8ビット
	高さ測定	16ビット
フレームレート	ひょうめんそうさ	20ヘルツから160ヘルツ
	ラインスキャン	~8 kHz
自動機能		じどうりとく
レーザ共焦点測定光源	波長	405ナノメートル
	出力	~2mW
	レーザレベル	3 b類
レーザ受光素子		PMT（光電子増倍管）
ひかりかんそくこうげん	灯（あかり）	10W LED
光学観察カメラ	イメージング素子	1/2”カラー画像CCDセンサ
	レコード解像度	640x480
	自動調整	ゲイン、シャッタースピード、ホワイトバランス
データ処理ユニット		パソコン
電源	電源電圧	100～240 V AC電源、50/60ヘルツ
	でんりゅうしょうひ	最大500 VA。
重さ	顕微鏡	約50キロ（測定ヘッド単位：～12 kg）
	コントローラー	~8 kg

注1：標準サンプル（ステップ1μm）を100×／0.95対物レンズで100回測定する

注2：標準試料（5μmピッチ）を100×／0.95対物レンズで100回測定した。

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