少数キャリア寿命試験

キャリア寿命とは、非平衡キャリアの寿命を指す。非平衡キャリアは一般的に非平衡少数キャリアである（半導体内部に注入し、蓄積することができるのは少数キャリアのみであり、多数キャリアは注入後もクーロン作用によって急速に消滅するため）ため、非平衡キャリア寿命とは非平衡少数キャリア寿命、すなわち少数キャリア寿命を指す。

少子寿命テスタの性能パラメータ：

1.測定原理：QSSPC（準定常状態光コンダクタンス）、

2.少子寿命測定範囲：100 ns-10 ms、

3.テストモード：QSSPC、過渡、寿命正規化分析、

4.抵抗率測定範囲：3-600（undoped）Ohms/sq.、

5.注入範囲：1013-1016 cm-3、

6.センサ範囲：直径40-mm、

7.測定サンプル規格：標準直径：40-210 mm（またはそれ以下）、

8.シリコンシートの厚さ範囲：10〜2000μm、

9.外界環境温度：20°C–25°C、

10.電力要求：テスタ：40 W、コンピュータコントローラ：200 W、光源：60 W、

11.汎用電源電圧：100-240 VAC 50/60 Hz、