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上海泊勲計器科学技術有限公司
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Mini Pro顕微分光システム

交渉可能更新02/11
モデル
製造者の性質
プロデューサー
製品カテゴリー
原産地
概要
Mini Proは、高空間分解能スペクトル情報を必要とする科学研究者のために設計されたコンパクトで低コストの顕微スペクトルシステムです。$r$nこの顕微スペクトルシステムはモジュール化設計を採用し、研究者は波長範囲と実験配置を迅速に切り替えることができ、波長コンポーネントを交換する操作は簡単で、5分以内に$r$nは光ルミネセンス(PL)分析のほか、このシステムは顕微Ramanスペクトル、顕微反射スペクトルと顕微光電流の収集と分析を行うことができる。
製品詳細

Ø動作原理

1.試料表面にレーザ集束し、分光器は試料の発光スペクトルを収集する。

2. サンプル経 X、Y軸走査、各座標点の光ルミネセンススペクトルを取得する、Z軸対物レンズを調整し、サンプルの焦点を合わせる

3.数百万本のスペクトルを収集した後、分析ソフトウェアはピークエネルギーと強度を抽出し、高解像度、高コントラストの物理画像を生成する。

Mini Pro 显微光谱系统

Øコア機能の上書き

この顕微スペクトルシステムはモジュール化設計を採用し、研究者が波長範囲と実験配置を迅速に切り替えることができ、波長コンポーネントを交換する操作が簡単で、5分以内に完成できる

光ルミネセンス(PL)分析に加えて、このシステムは顕微Ramanスペクトル、顕微反射スペクトル及び顕微光電流の収集と分析を行うことができる。

Mini Pro 显微光谱系统


コアメリット

Øモジュラー設計と多機能統合

モジュラー設計

多機能統合

Mini Pro顕微分光システム汎用型光学設計とモジュール化設計を採用し、研究者は波長モジュールを交換することで、波長範囲と実験配置を迅速に切り替えることができる。

顕微光ルミネセンス(PL)解析

顕微ラマン(Raman)スペクトル解析

マイクロ光電流解析

X、Y、Zの3軸走査

エレクトロルミネセンス解析

TRPL蛍光寿命解析

低温測定分析

Øオートフォーカス

オートフォーカス

キーパラメータ

自己研磨技術、適合サンプルは粗い/傾斜/湾曲面、レーザースポットは常にフォーカス

広いスペクトル:200~1700 nm

空間分解能:サブミクロン級(0.35μm)

スペクトル収集量:数百万本

温度差/ほこり/周囲光干渉を遮断するためのカバー内蔵

ソフトウェア:高速ピークフィッティング

コスト:コスト・パフォーマンス、カスタマイズのサポート


Mini Pro 显微光谱系统



技術仕様

カテゴリー

具体的なパラメータ

励起波長

266~980 nm

サンプルXY走査台

ストローク範囲:5 mmまたは10 mm

繰り返し精度:20 nm

対物レンズZ走査台

ストローク範囲:400μm

繰り返し精度:5 nm

収集時間

(積分時間10 msの場合)

100μm×100μm、0.5μm步长:6分

5mm×5mm、50μm步长:2分

5 mm×5 mm、5μmステップ:3 h

サンプル観察

LED、モノクロカメラ

電源

120V、60Hz

データインタフェース

USB3.0

すんぽうじゅうりょう

43cm×38cm×58cm、14Kg



Mini Pro 显微光谱系统


|ソフトウェア解析システム

GPU分析加速

GPU加速ピークフィッティング技術を用いて、

数百万本のスペクトルのフィッティング演算を1時間で完了でき、

多重特徴ピークのフィッティングをサポートし、

ユーザーは標準関数またはカスタム関数を使用することを選択できます。

データ解析機能

各スペクトルのピークエネルギーと強度を迅速に抽出する

高解像度、高コントラストの物理画像を生成する、

擬似カラー画像直観表示特徴ピークパラメータ

(例えばエネルギー単位eV)


典型的な応用と科学研究事例

Ø緑色発光ダイオード (LED)欠陥認識

下図は緑色発光ダイオード (LED)の光ルミネセンス(PL)スペクトルは、この緑色LED欠陥における発光ピークの強度とピークエネルギーをそれぞれ示している。

この実験は、LEDチップ上にエポキシ樹脂を被覆して形成された透明で半球状のバンプを測定することによって完成した。

Mini Pro 显微光谱系统

Ø 半導体合金成分と相分布

ピーク分析により、化学成分などの材料の物理的性質を分析するために使用することができます。

下図はテルル亜鉛カドミウム(CdZnTe)中の亜鉛(Zn)含有量の空間分布変化を示している。

Mini Pro 显微光谱系统

Ø低温発光測定

この低温測定モジュールには、デュワー瓶、真空ポンプ、温度制御器などが含まれている。

Mini Pro 显微光谱系统

Ø光ルミネセンスとラマン測定を一体的に実現

Mini Pro 显微光谱系统

紫外線の発色と領域についてピークRaman分光分析を行い、シリコン-炭化水素(Si−CH)結合構造の汚染物質。

から」Photoluminescence and Raman mapping of β-Ga2O3, AIP Advances (2021年)

光ルミネセンス(PL)スペクトルから酸化ガリウム(GaO型)材料中の欠陥分布。

「Ga2O3の表面に位置付けられた紫外線発射器」から、科学報告(2020)

Mini Pro 显微光谱系统

(a)はTiO 2のラマンパターンであり、図中にはアナターゼ、ルチル及び非晶質相の領域が示されている。

(b)は、選択された領域のラマンスペクトルである。「Localized phase transition of TiO」2 サブバンドギャップレーザー放射によって誘導される薄膜」 J. Vac.科学テクノロジーA(2021年)。


波長モジュール

近くIR

レーザー

975 nmレーザ,30−100 mW

スペクトロメータ

NIRQuest+、900-1700 nm

近くIR、ラマン

レーザー

785 nmレーザ,250 mW

スペクトロメータ

QE Pro、100-2800 cm-1

レーザー

635 nmレーザ,1−2 mW

スペクトロメータ

マヤ プロ635-1060nm

レーザー

532 nmレーザ,4−5 mW

スペクトロメータ

マヤ プロ532-960nm

緑、ラマン

レーザー

532 nmレーザ,30−140 mW

スペクトロメータ

QE Pro、90-4000 cm-1

バイオレット

レーザー

405 nmレーザ,1−2 mW

スペクトロメータ

マヤ プロ405-840nm

紫外線近く

レーザー

349 nmレーザ,0〜20 mW

スペクトロメータ

マヤ プロ349-780nm

深い紫外線

レーザー

266 nmレーザ,5 mW

スペクトロメータ

マヤ プロ266〜700 nm

即使用型モジュールで、設置調整が簡単で、カスタマイズコンポーネントをサポートする

|システム選択

ØStandard Microscope標準顕微鏡システム

uコアポジショニング:基本入門構成

u主な特徴:分光計を含まない

u適用シーン:基本的な顕微観察要件

Mini Pro 显微光谱系统


ØMini Pro Microscope顕微鏡分光システム

uコアポジショニング:主力科学研究モデル

u主な特徴:統合スペクトル分析機能、サポートPL、ラマン、光電流などの多様な測定モード

u適用シーン:全面的な材料スペクトル分析研究


Mini Pro 显微光谱系统

ØPremium Microscopeウェハレベル顕微鏡分光システム

uコアポジショニング:プロフェッショナル構成

u主な特徴:ウエハ級サンプルに対して最適化し、より広いスキャン範囲を備える

Mini Pro 显微光谱系统