マイクロナノ加工サービス

会社は国内外の多くの単位で、マイクロニードル、AR斜歯/輝光格子、超構造レンズ（単結晶シリコン、非晶質シリコン、窒化シリコン）、シリコン光機構、深シリコン/体シリコン構造などのデバイスと機構の面で、OEM研究サービスを提供している。

技術能力：電子ビーム露光、ナノインプリント、レーザー直写（マスクなしフォトリソグラフィ）、真空めっき、スパッタリングめっき、PECVD，LPCVD，ICP-RIE，深シリコンエッチング、金属エッチング、媒体エッチング、イオンビームエッチング、反応イオンビームエッチング、ウエハ結合、スクライブなど。

デバイス/構造：マイクロニードル、AR斜歯フラッシュ格子、超構造レンズ（単結晶シリコン、非晶質シリコン、窒化シリコン）、シリコン光構造、深シリコン/体シリコン構造などをよく行う。

プロセス能力：電子ビーム露光、ナノインプリント、レーザー直写（マスクなしフォトリソグラフィ）、真空コーティング、スパッタリングコーティング、PECVD、LPCVD、ICP-RIE、深シリコンエッチング、金属エッチング、誘電体エッチング、イオンビームエッチング、反応イオンビームエッチング、ウエハ結合、スクライブなど。

一般的なデバイス/構造：マイクロニードル、AR斜歯グロー格子、超レンズ（単結晶シリコン、アモルファスシリコン、窒化シリコン）、シリコン光学構造、深シリコン/体シリコン構造など。