マスフローコントローラ

ネゴシエーション可能更新05/18

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概要

G 300シリーズ製品は層流差圧法を用いて流量を測定し、高精度、高解像度、高繰り返し性と高信頼性などの特徴を持っている。製品は多種のガスと混合ガスを内蔵し、アナログデジタルなどの多種の制御方式を採用している。

製品詳細

G300Cマスフローコントローラ特徴

高精度、高解像度制御

低電力、電力＜2 W



10種類の混合ガスをカスタマイズ可能

制御パラメータ自己調整機能

デジタル制御、RS-485 Modbus RTU通信モード

広い流量レンジ

予熱不要

設置方向制限なし

高い再現性と信頼性

電磁比例弁を採用し、使用寿命が長く、応答速度が速い

自己温度補償、補償範囲0-50℃



小さいパッケージサイズレンジと精度の概要

使用可能なレンジ：

最大 0-50slpm

最小0-1 sccm

常備レンジは型式選択表を参照してください

レンジ比：1000：1

フルレンジ精度：±0.2%

読み取り精度：±0.8%

再現性：±0.2%FS

応答時間：＜100 ms（PID制御パラメータを調整して縮小可能

デジタルデザインの概要G 300 Cシリーズマスフローコントローラ標準配置高精度伝送センサとデジタル回路、デジタル回路は測定と制御所を完成することができる必要なすべての基本機能。G 300 Cシリーズは標準のRS-485 Modbus RTU通信モード。RS-485バス最高255台のデバイスに拡張して同時に使用することができます。

気相及び液体クロマトグラフィー装置

半導体プロセス

環境モニタリング装置

マイクロ反応装置及び材料調製実験装置（CVD）

ガス発生器

はいきこんごうきシステム

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