GT200あつりょくせいぎょき特徴

高精度、高解像度制御、制御精度0.001psi（0-150 psiレンジ制御精度0.01 psi）

電力1.75 W未満、低電圧直流5 V

27×22×25 mm（縦横高さ）超小型パッケージサイズ

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制御レンジ範囲-15 Psig…150 Psig

減圧タイプと背圧タイプの2種類のコントローラモデルを提供

高い再現性と信頼性

電磁比例弁を採用し、使用寿命が長く、応答速度が速い

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内部閉ループ制御、高い安定性レンジと精度の概要

高精度センサーを内蔵し、精度は±0.25%F.S.

GT 200シリーズの制御精度は最大0.001 psi

さまざまなレンジを提供：-1…1Psig/-15…15Psig/0…60Psig/0...150ポンド/平方インチ

デジタルデザインの概要

あつりょくせいぎょき標準配置高精度圧力伝達センサとデジタル回路、デジタル回路は測定と制御所を完成することができる必要なすべての基本機能。GT 200シリーズは標準のRS-485 Modbus RTU通信モード。RS-485バス最高255台のデバイスに拡張して同時に使用することができます。

応用分野

気相及び液体クロマトグラフィー装置

半導体プロセス

環境モニタリング装置（VOCSなど）

マイクロ反応装置及び材料調製実験装置（CVD）

はんのうきあつりょくせいぎょ

ガス発生器

ガス流量制御