マスフローコントローラ

G100Cマスフローコントローラ特徴

l高精度、高解像度制御

l直流9-36V宽电压供电

l低電力、電力＜2W

l統合40種基礎ガス種

lカスタマイズ可能10種混合ガス

l制御パラメータ自己調整機能

lデジタル制御、RS-485Modbus RTU通信モード

l広い流量レンジ

l予熱不要

l設置方向制限なし

l高い再現性と信頼性

l采用电磁比例阀，使用寿命长，响应速度快

l自己帯域温度補償、補償範囲0-50℃

l内部閉ループ制御、高い安定性

l

レンジと精度の概要

l使用可能なレンジ：

n最大0-20毎分標準リットル

n最小0-10標準立方センチメートル

n常備レンジは型式選択表を参照してください

lレンジ比：100:1

lフルレンジ精度：±0.5%

l読み取り精度：±1%

l±0.5%ファイルシステム

l応答時間：＜100ms（調整PID制御パラメータにより応答時間を短縮）

デジタルデザインの概要

G 100 Cシリーズマスフローコントローラ高精度センサーとデジタル回路を標準装備し、デジタル回路は測定と制御に必要なすべての基本機能を完了することができます。G 100 Cシリーズに標準のRを採用S-485Modbusリモートターミナルユニット通信モード。RS-485バスは最大で拡張可能255台の設備を同時に使用する。

応用分野

l気相及び液体クロマトグラフィー装置

l半導体プロセス

l環境モニタリング装置

lマイクロ反応装置及び材料調製実験装置（CVD）

lガス発生器

lはいきこんごうきシステム