マグネトロンスパッタリングコーティング機メーカー

一、マグネトロンスパッタリングコーティング機メーカーコアパラメータ：

価格帯：150万-200万

機器種類：マグネトロンスパッタリングコーティング機

産地別：国産

応用分野：マイクロエレクトロニクス

基板サイズ：4インチ（カスタマイズ可能）

ターゲット:タンタル

基板温度範囲：RT-900ºC

成膜厚均一性：基板エッチング均一性<3%

限界真空：限界真空UltimatePressure<3 E-9 Torr

二、マグネトロンスパッタリング技術原理：

カソードターゲットの表面上に直交電磁場が形成される。スパッタリングによって生成された二次電子がカソード位置降下領域内で高エネルギー電子に加速されると、直接アノードに飛ぶのではなく、直交電磁場の作用下で往復振動する近似サイクロイドの運動が行われる。高エネルギー電子は絶えずガス分子と衝突し、後者にエネルギーを移動し、イオン化させてそれ自体が低エネルギー電子になる。これらの低エネルギー電子は最終的に磁力線に沿って陰極付近の補助陽極にドリフトして吸収され、高エネルギー電子による極板の強い衝撃を回避し、二段スパッタリングにおける極板の衝撃加熱と電子照射による損傷を除去し、マグネトロンスパッタリングにおける極板の「低温」の特徴を体現した。印加磁場の存在により、電子の複雑な運動はイオン化率を高め、高速スパッタリングを実現した。

三、マグネトロンスパッタリングコーティング機メーカー技術的特徴：

成膜速度が高く、基板温度が低く、膜の密着性が良く、大面積めっきを実現できる

四、アフターサービス：

保証期間：1年

保証期間を延長できるかどうか：No

現場技術コンサルティング：有

無料トレーニング：1.設備出荷前に、少なくとも2人1週間の設備原工場トレーニングを提供する。2.設備は現場で設置調整を完了する

無料機器保守：手配できる必要がある

保証内修理承諾：保証期間内（天災と人為的損害を除く）部品、部品費用、出張費用はすべて我が社が負担する

修理の承諾：品質保証期間内に故障が発生した場合、我が社は直ちに対応し、8時間以内に技術者を現場に派遣して故障を解決する、

五、技術パラメータ：

六、工芸展示：