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wulihua@cinv.cn
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電話番号
18019703828
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アドレス
上海市浦東新区浦東南路2250号A席301室
上海西努光学科学技術有限公司
wulihua@cinv.cn
18019703828
上海市浦東新区浦東南路2250号A席301室
LUXET Thermo 100はフルグー製化されています位相同期赤外顕微イメージングシステム。全自動運動システム、高感度冷凍型中波赤外カメラ、広角レンズと高倍率顕微鏡レンズ、高圧源表を搭載し、ウエハ、回路基板など多種多様なデバイスの故障点位置決めに適用できる。
ルクセット Thermo 100位相同期赤外顕微イメージングシステム特色(とくしょく):

アプリケーションシナリオ:

対物レンズ8 X
電圧6 V
位相同期周波数12.5 Hz
・電極間の短絡
・漏電と破壊
・デバイス抵抗異常
・デバイス上の温度分布
動作原理:

位相同期赤外線測定プロセスは、印加された電流または電圧を変調し、ビデオ位相同期アルゴリズムを利用して背景ノイズを低減する目的を達成する。この技術により、デバイスの故障点を非常に正確に位置決めすることができる。
ソフトウェア:

自主開発した測定ソフトウェアは、時間領域再構築、深さ測定、画像一時保存、電圧-電流測定などの機能を含む。
ルクセット Thermo 100位相同期赤外顕微イメージングシステム仕様:
| 対物レンズ | ||||
| 解像度プレートの実写図 | 名称 | 開口数 | 視野範囲(mm) | 解像度(um) |
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| MWIR WA | 0.125 | 96*76.8~19.2*15.36 | N/A |
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| MWIR 1X | 0.125 | 9.6*7.68 | 20 |
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| MWIR 8X | 0.8 | 1.2*0.96 | 2 |
| 冷凍中赤外線カメラ | ||||
| プローブ | アンチモン化インジウム(InSb) | テルルカドミウム水銀(HgCdTe) | ||
| めんせきすんぽう | 640*512 | 640*512 | ||
| れいとうほうしき | リニア冷凍機 | リニア冷凍機 | ||
| NETD | <25mK | <25mK | ||
| 冷凍機寿命 | 20,000時間 | 20,000時間 | ||
| 寸法パラメータ | ||||
| 名称 | サーモ 100 | |||
| 幅*奥行き*高さ | 1300*1094*2160mm | |||
| 重量 | 約600kg | |||
| 工作る条件 | ||||
| 電圧 | AC220V の | |||
| 真空 | 50 kPa以上 | |||
| あっしゅくくうき | 0.6〜0.8MPa | |||
| 運動スケジュール | ||||
| X | ±80mm | |||
| Y | ±80mm | |||
| Z | 450ミリメートル | |||