液体質量流量制御器/計

特徴

•年間変動がフルレンジの0.2%未満の長期零点安定性
•コマンドの変化に応じた迅速なトラフィック応答が可能で、オーバーシュートは無視できます
•トラフィック範囲が広い-100 CC/MINから20 L/MINまで
•耐高圧レベル-最大1 MPA
•取り付け角度の影響を受けない
•機械的および電気的設計における他の質量流量コントローラとの互換性

耐久性のある

☆耐圧が高く、真空条件下での動作に適している。低圧降下作動圧力の範囲は広く、ガス流量は温度、圧力の変化によって変化しない。

たいふしょく

☆本体はステンレス鋼（304または316 L）構造を採用し、気密材料はVITON、ポリテトラフルオロエチレンなどを採用する。各種耐食性ガスに適している。

安定

☆精度が高く、再現性が良く、応答速度が速く、ソフト起動、動作が安定して信頼性がある。

セットアップが簡単

☆任意の場所に取り付け可能。電気操作制御表示、使いやすい。電気システムや自動制御システムとの連携が容易です。

せいみつけいりょう

☆流量表示器と合わせて、ガスの瞬時流量を正確に測定制御することができる。