耐高圧型ガス質量流量制御器／計（デジタルタイプ）

特徴

•年間変動がフルレンジの0.2%未満の長期零点安定性
•コマンドの変化に応じて迅速にトラフィック応答を行うことができ、オーバーシュート/ダウンシュートは無視できます
•流量範囲が広い-3 sccmから30 slmまで
•耐高圧レベル-最大10 MPA
•リムーバブルフローセンサ
•取り付け角度の影響を受けない
•機械的および電気的設計における他の質量流量コントローラとの互換性
•電気駆動弁のオーバーシュート
•耐化学腐食バルブ

耐久性

☆耐圧が高く、真空条件下での動作に適している。低圧降下作動圧力の範囲は広く、ガス流量は温度、圧力の変化によって変化しない。

たいふしょく

☆本体はステンレス鋼（304または316 L）構造を採用し、気密材料はVITON、ポリテトラフルオロエチレンなどを採用する。各種耐食性ガスに適している。

安定

☆精度が高く、再現性が良く、応答速度が速く、ソフト起動、動作が安定して信頼性がある。

セットアップが簡単

☆任意の場所に取り付け可能。電気操作制御表示、使いやすい。電気システムや自動制御システムとの連携が容易です。

せいみつけいりょう

☆流量表示器と合わせて、ガスの瞬時流量を正確に測定制御することができる。