漏洩試験GRYLLSグリルス熱式質量流量計

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概要

漏洩試験GRYLLSグリルス熱式質量流量計、0.5 sccm-6000 slmフルレンジ$r$nGrylls 5900シリーズ質量流量コントローラはデジタル量入出力をサポートし、設備自体は操作ボタンと表示画面を持つことができ、流量コンピュータ制御と表示流量を採用することもでき、オプションの多媒体/マルチレンジを持つ機能を提供することができる。

製品詳細

漏洩試験GRYLLSグリルス熱式質量流量計

Grylls 5900シリーズは質量流量センサ、層流層状部材、流量制御器調整弁、増幅制御回路などの部品から構成され、それは流動流体の伝達熱変化を利用して毛細管壁の温度分布を測定する熱伝導分布効果を変えて作られた。Grylls 5900シリーズ質量流量制御器は毛細管伝熱前後の温度差量熱法の原理を用いてガスの質量流量を測定し、温度圧力の影響を受けない。センサが測定した流量信号を増幅し、設定した電圧と比較し、得られた差分値で調節バルブを駆動制御し、閉ループは設定した流量と等しくなるように通路を流れる流量を制御する。

漏洩試験GRYLLSグリルス熱式質量流量計

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