GRYLLSガス消費測定差圧式質量流量計

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モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

GRYLLSガス消費測定差圧式質量流量計は、0.5 sccm-6000 slm全レンジ$r$nは無熱ドリフト、無応答ヒステリシスの差圧質量測定原理、無熱ドリフト、無視できる温度シフトと時間ドリフト、長期安定性0.1%F.S/年、正確度1.0%、レンジは100：1の範囲内でボタン設定でき、標定する必要はなく、同時に表示と出力することができる。

製品詳細

標準パラメータ（オプションについてはGryllsにお問い合わせください）
製品性能パラメータ		GRYLLSガス消費測定差圧式質量流量計
精度（ゼロ調整後の標準条件下）		±1%フルスケール
高精度オプション（ゼロ調整後の標準条件）		±0.5%フルスケール高精度オプションは、5 sccm-3000 slmレンジ区間のみで使用可能
くりかえしせい		±0.2%フルスケール
ゼロドリフトとフルレンジドリフト		0.2%フルスケール/ºCelsius/Atm
動作範囲とレンジ比		2%から100%フルスケール/50:1（100:1オプション）
最大制御可能流量		100% フルスケール
最大測定可能流量		100% フルスケール
典型的な応答時間		<1000 ms
リーク率		1×10-9 atm ・cc/s 彼

運転モード		GRYLLSガス消費測定差圧式質量流量計
標準モード（STP）		25ºCおよび14.696 psia（標準 - 要求に応じて利用可能な他の）
動作温度		0 から +50 ºC
さぎょうしつどはんい		0〜90％
さいだいたいあつ		145 psi （g）/10bar （g）任意:435psi （g）/30bar （g） Max1450psi （g）/100bar （g）
さぎょうあつさ		500slmの下で:72.5psi（d）/5bar（d）;500slmの上に:145psi（d）/10bar（d）
取り付け方向の要件		フルスケール:なし
バルブタイプ		通常閉鎖
保護等級		IP40（任意IP65）
コンタクトメディアのマテリアル		316 L、417 J 1ステンレス鋼、フッ素ゴム、熱硬化シリコーンゴム、ガラス強化ポリフェニレンサルファイド、熱硬化エポキシ樹脂、アルミニウム、金、黄銅、シリコン、ガラスなど。使用するメディアに異なる材料が必要な場合は、Gryllsに連絡してください。

通信と電力供給		Grylls 5900シリーズ熱式質量流量制御装置
画面とマルチファンクションボタンの表示		質量流量、積算流量、ガス係数切り替えなどの機能を表示する
デジタル通信オプション1		RS-232シリアル/RS-485シリアル/Modbus RTU/PROFIBUS/EtherNet/IP デバイスネット / Modbus TCP / IP / EtherCAT / PROFIBUS-DP
アナログ通信オプション2		0-5 Vdc/1-5 Vdc/0-10 Vdc/4-20 mA
第2チャネルアナログ通信オプション2		0-5 Vdc/1-5 Vdc/0-10 Vdc/4-20 mA
電気インタフェースオプション		9ピンDサブ（DB9M）/15ピンDサブ（DB15M）/RJ11
給電電圧		24 Vdc / ±15Vdc
給電電流		500slmの下で:0.50アンプー;500slm以上：1.0Amp
1.デジタル出力信号は品質流量、積算流量、流量の大きさ調節などの機能を通信することができる。 2.アナログ出力信号及びオプションの第2のチャネルアナログ出力信号は、送信瞬時流量を選択することができる。

製品の特徴		Grylls 5900シリーズ熱式質量流量制御装置
多ガス係数切替V 2.0		ガス変換係数は60種類の予め設定されたガス係数変換を提供する：完全なリストはマニュアル付録を参照。必要なガス媒体テーブルの列にない場合は、お問い合わせください。

各レンジデバイス仕様パラメータ（オプションについてはGryllsまで）
フルレンジ質量流量制御器	機械寸法		ガス回路プロセス接続コネクタ仕様
5910シリーズ0.5-10 sccm	4.92"H x 3.94"W x 1.14"D		G3/8"女性のG3/8"
5910シリーズ10-100 sccm
5910シリーズ100-500 sccm
5910シリーズ500-1000 sccm
5910シリーズ1000-2000 sccm
5910シリーズ2-5 slm
5910シリーズ5-20 slm
5910シリーズ20-30 slm
5920シリーズ30-100 slm	5.31"H x 4.53"W x 1.38"D		G3/8"女性のG3/8"
5920シリーズ100-200 slm
5920シリーズ200-300 slm
5930シリーズ300-500 slm	6.30"H x 9.25"W x 2.91"D		G1/2"女性のG1/2"
5930シリーズ500-1000 slm
5930シリーズ1000-2000 slm
5930シリーズ2000-3000 slm
5930シリーズ3000-6000 slm	6.30"H x 9.25"W x 2.91"Dx2		二重 G1/2"女性の女性の女性のネジ
1. 低圧損失使用可能質量流量コントローラにお問い合わせくださいグリルズ。 2. 製品寸法などのパラメータ値は図面を参照。 3. エア路内ねじ山は表面シール、高速プラグジョイント、スリーブジョイントなどの部品と互換性がある。ユーザーの要件に応じて提供することもできますVCR等継手と互換性があります。

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