Keithley 4200 A-SCSパラメータアナライザ

パラメータ表示、高速で鮮明。

大胆な発見を推進するのはこれほど容易ではなかった。4200 A-SCSパラメータアナライザは、セットアップから検定試験の実行までの時間を最大50%削減し、比類のない測定と分析能力を実現します。また、組み込み測量の専門知識は比類のないテストガイドを提供し、最終結果について情報を満たすことができます。

特徴

• DC IV、CV、パルスIV測定タイプのための高度な測定ハードウェア
• Clariusソフトウェアに含まれる数百種類のユーザーをすぐに使用して、アプリケーションテストを修正してテストを開始できます。
• 自動リアルタイムパラメータ抽出、データ描画、解析関数

正確なC-V特性評価

吉時利の最新の容量−電圧セル（CVU）4215−CVUを用いて一桁飛びを測定した。1 V AC電源を吉時利業界をリードするCVUアーキテクチャに統合することにより、4215-CVUは1 kHzから10 MHzの周波数で低ノイズ容量測定を行うことができる。

特徴

• 同類製品の中で初めて1 V AC電源電圧を駆動できるCV表
• 1 kHz周波数、分解能1 kHzから10 MHz
• 容量、コンダクタンス、アドミタンスの測定
• 4200 A-CVIVマルチプレクサを使用して最大4つのチャネルを測定可能

4215-CVUを用いたFemtofarad（1 e-15 F）容量測定

測定、切り替え、繰り返し。

4200 A-CVIVマルチチャネル切替モジュールは、プローブ端部を再配線したり持ち上げる必要がなく、I-VとC-V測定との間で自動的に切り替わります。競合製品とは異なり、4チャネル4200 A-CVIVディスプレイは、テスト設定を迅速に完了し、予期しない結果が発生した場合に簡単にトラブルシューティングできるローカルなビジュアル表示を提供します。

特徴

• 再配線なしでC-V測定をデバイス端末に移動
• ユーザは低電流機能を設定できる
• パーソナライズされた出力チャネル名
• リアルタイムテストステータスの表示

安定した低電流測定、I-V検定に適用

4201-SMUモジュールと4211-SMUモジュールを使用すると、高容量システムで安定した低電流測定を実現することができます。4200 A-SCSには4つのモデルのソース測定単位（SMU）があり、カスタマイズすることですべてのI-V測定要件を満たすことができます。オンサイトでインストール可能なユニットとオプションのプリアンプモジュールを提供することで、Keithleyは最も正確な低電流測定を確実にすることができますが、ダウンタイムはほとんどありません。

特徴

• 機器を工場に送り返さずにSMUを増やすことができる
• 飛安測定を行う
• 最大9つのSMUチャネル
• ロングケーブルまたは大きなチャックに最適化

分析プローブと低温コントローラを備えた統合ソリューション

4200 A-SCSパラメータアナライザは、多くの手動および半自動ウェハ検出器および低温コントローラをサポートしています。MPI、Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低温制御器

特徴

• 「クリック」テストシーケンス
• 手動検出器モード検出器機能のテスト
• ダミープローブモードは、コマンドを除去することなくデバッグできます

コスト削減と投資保護

吉時利保障計画は、オンデマンドサービスイベントのコストのほんの一部で迅速で高品質なサービスを提供する。クリックしたり電話をかけたりするだけで修理サービスを受けることができます。このプロセスでは、見積もりや注文書の記入が不要になり、承認が遅れることもありません。

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バイオセンサ検定

バイオセンサまたはbioFETは、検体に対するバイオ応答を電気信号に変換する。4200 A−SCSに統合されたClariusソフトウェアは、bioFETをテストするためのプロジェクトを含む。これを起点としてバイオセンサの伝送と出力特性を検定し、ここから作業を展開する。

フライングキャパシタンス測定

4215−CVUモジュールを用いてサブフェムトファラ容量を測定した。1 VACを駆動することにより、1 fFキャパシタを測定する際、4215−CVUのノイズレベルを6 attofaradまで低くすることができる。これは、容量を測定し、重要なパラメータを抽出するためにClariusソフトウェアに付属している数十種類のアプリケーションの1つにすぎません。

4215-CVUを用いたFemtofarad（1 e-15 F）容量測定

最適容量と交流インピーダンス測定を行う

特徴

• ビルトインフライ計測機能
• 1 kHzから10 MHzまでの10,000周波数ステップ
• ユーザーライブラリを使用した任意のデバイスのテストのカスタマイズ

半導体およびNVM信頼性

全面パルスI−V検定により試験に新技術を利用する。4200 A-SCSは、フローティングゲート回路フラッシュメモリからReRAMおよびFeRAMまで、最新のNVRAMテクノロジーをサポートし、即使用型テストを提供します。電流と電圧の双源と測定機能は同時に過渡とI-Vドメイン検定をサポートする。

MOSFET装置の熱搬送波誘導劣化の評価

不揮発性メモリテスト用のシングルナノ秒パルスソリューション

不揮発性メモリ技術パルスI−V検定

高インピーダンス応用に適したC-V測定機能を提供する

高抵抗サンプルの容量をKeithleyのカスタム極低周波C-V技術を用いて分析した。この技術はソース測定ユニット（SMU）機器のみを使用することで応用を実現することができ、同時に4210-CVUと組み合わせて使用することができ、より高周波測定を実行することができる。

4200 A−SCSパラメータアナライザは、高インピーダンスデバイス上で極低周波容量−電圧測定を実行することができる

MOSFET/MOSCAPデバイス検定の簡略化のためのヒントと技術

特徴

• .01〜10 Hz周波数範囲、1 pF〜10 nF感度
• 3桁の典型的な解像度、最小の典型的な値10 fF

ロングケーブルまたはコンデンサクランプを使用した場合のテスト

非常に長いケーブルや容量の高いクランプが必要な場合は、4201または4211 SMUを使用してください。これらのSMUは、LCDテスターステーション、検出器、スイッチングマトリクス、またはその他の大型または複雑なテスターへの接続に最適です。オンサイトインストール可能バージョンにより、サービスセンターにデバイスを戻すことなく容量を増やすことができます。

4201-SMUと4211-SMUを用いて、高テスト接続容量による安定した低電流測定を行う

材料抵抗率

SMUを統合した4200 A-SCSを使用して、4点同軸プローブまたはファンデルベルク法で容易に抵抗率を測定することができます。組み込みテストは、バンデルベルク計算を自動的に繰り返し実行し、貴重な研究時間を節約します。10 aAの最大電流分解能と10­­­­16オームより大きい入力インピーダンスは、より正確で正確な結果を提供することができる。

4200 A−SCSパラメータアナライザ及び4点同軸プローブを用いて半導体材料の抵抗率測定を実行することができる

4200 A−SCSパラメータ解析器を用いてファンデルベルク及びホール電圧測定を実行することができる

MOSFET検定

4200 A−SCSは、コンポーネントまたはウェハテストによる包括的なMOSデバイス検定を実行するために必要なすべての機器を収容することができる。内蔵試験とプロジェクトはMOSCapの酸化物厚さ、しきい値電圧、ドーピング濃度、モバイルイオン濃度などの問題を解決することができる。これらのテストは、1つの機器ボックスのボタンに触れるだけで実行できます。

4200 A-SCSパラメータ分析計を用いてMOS容量C‑V検定を実行できる

実験室からウェハ工場までの自動制御

Keithley自動化検定キット（ACS）は、デバイスを完全に制御します。ACSは、ワークベンチ上のいくつかの機器を制御する必要がある場合でも、生産のためにテストラック全体を自動化する必要がある場合でも、機器検定、パラメータテスト、信頼性テスト、シンプルな機能テストに柔軟なインタラクティブ環境を提供します。

• 簡単な1回限りのテストを実行するか、複雑なプロジェクトツリーを構築する
• 無限の柔軟性と制御力を得るためにACSでPythonを使用してコードを記述する
• 手動または自動ウェハ検出器制御
• データ管理と統計解析機能

自動化の開始

Clarius+分析キット

Clarius+ソフトウェアスイートを使用すると、材料とデバイスの検証洞察を簡単に得ることができます。Clariusは4200 A-SCS上でローカルに動作し、テスト結果を計画、構成、分析することができます。また、Clariusを任意のWindows 10 PCにインストールして、実験室でテストを実行する前にテストを計画して構成したり、データを収集した後にデータを分析したりすることもできます。

• 200以上の事前構成テストにより、ラボの稼働を加速
• Keithleyエンジニアが丹念に収集した実際のデータ
• 組み込みコンテキストヘルプとアプリケーションガイド
• 結果をリアルタイムで表示できる監視モードを提供

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