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JK-VRP 300高温真空熱プレス

交渉可能更新01/05
モデル
製造者の性質
プロデューサー
製品カテゴリー
原産地
概要
JK-VRP 300は高温真空熱プレスであり、ウェハの溶接または薄膜転移に対して、処理可能な最大サンプルサイズは300 mm*300 mm*70 mmである。機器の最高動作温度は500℃であり、この温度でサンプルに加えられる最大圧力は30 Tである。
製品詳細

JK-VRP300型高温しんくうねつプレス

JK-VRP 300は1つのモデルです高温ウェハの溶接または薄膜転移に対して処理可能な最大試料サイズ: 300mm*300mm*70mm。機器の最高動作温度は500℃であり、この温度でサンプルに加えることができる最大圧力は30 Tである

JK-VRP300高温真空热压机


基本パラメータ

電源:AC220V , 50Hz ,総出力:約4.5 KW

2枚 300 mm*300 mm加熱プラットフォームは、耐熱金型鋼を用いて製造され、最高耐温度は500℃である

加熱管は上下の加熱プラットフォームの内部に配置され、急速加熱の効果を達成する

2つの精密な温度制御器は独立に2つの加熱プラットフォームを制御し、設置可能 18段昇降温度プログラム

上下加熱プラットフォームと真空チャンバ

上下加熱プラットフォームはすべて真空チャンバ内に設置され、上下加熱プラットフォームのサイズ:300*300ミリメートル

上下加熱板の平面度<0.02 mm(有効面積300 mm*300 mmの範囲内)

真空キャビティ採用 304ステンレス鋼製で、補強リブ(真空状態でキャビティが変形するのを防ぐ)が溶接され、真空度が10に達することができる -1パパ

サンプルを入れることができる最大サイズ:300mm*300mm*70mm

デジタル真空計

キャビティにはφ6.35のブッシュ継手を吸気口として使用し、1つの電磁弁により吸気のオンオフを制御する

キャビティの側面にはφ8 mm宝塔ガスノズルの吐出口、1つの電磁弁により吐出ガスのオンオフを制御する

キャビティの側面には KF 25の真空引きインタフェースは、顧客が各種モデルの真空システムに適合するのに便利である

温度制御システム

JK-VRP300高温真空热压机


2つの精密な温度制御システムを設定可能 18段昇降温度プログラム、温度制御精度は±1℃、500度恒温時の温度変動±5℃で、それぞれ独立に2つの加熱プラットフォームを制御する。

JK-VRP300高温真空热压机


温度制御システムの採用 PID方式は温度調整を行い、過熱と断熱保護を有する。

最高動作温度は:500℃(30分

圧力制御システム

最大圧力:30T

加圧方式:電動加圧

あつりょくせいど:0.01トン

シリンダ直径は Φ80 mm;

シリンダストロークは 0-70 mm;

真空ポンプ

抽気速度:8(2.2)m³/h(L/S)

限界圧力:ガス鎮圧 5*10-2 Pa気鎮開10 Pa

電力:0.37kw

必要な油量:0.6〜1.0L

出入口:KF25

外形寸法

580*680*120mm

重量

580キログラム

品質保証

1年間の品質保証期間、生涯維持

特に注意:消耗品部分、例えば加熱素子、石英窓などは腐食性ガスと酸性ガスの使用による損害は保証範囲内に含まれない