インテリジェントX線蛍光めっき層厚測定器

インテリジェント型Thick 800 Aは天瑞計器株式会社の長年のX蛍光測定器の経験を集め、専用に開発された上照式膜厚測定器である。計器の外観は簡潔で気前が良く、自動化されたX軸Y軸Z軸の三次元移動、二重レーザー定位と保護システムを通じて、平面、凹凸、角、弧面などの各種の簡単で複雑な形態のサンプルに対して迅速な焦点合わせ精密分析を行うことを実現した。

パフォーマンスの利点

配置——高解像度SDD検出器を採用する、最大140 eVの解像度
上照式設計——微小不規則表面サンプル、例えば円弧、アーチ上照式設計形、溝、ねじなどの異形の高速、準、安定高効率検査を実現する
高精度で自動化されたX軸Y軸Z軸の連動装置により、サンプルの正確な合焦高速検出を実現
高度自動位置決めレーザーを採用し、異なるサイズのめっき試験を満たすために、迅速かつ正確な位置決め試験高さを実現する
多種のコリメート穴を選択可能——コリメート穴：0.05*0.3 mm、φ0.1 mm、Ф0.2mm；Ф0.3mm；Ф0.5mm
位置決め精度：サンプルは迅速かつ正確に位置決めできる
操作が簡単：全自動インテリジェント統合設計により、検査を簡単に完了

技術優位

計器の配置が高い

図1

図2

インテリジェントX線蛍光めっき層厚測定器

インテリジェント型Thick 800 Aは業界内のSDD半導体電気冷凍検出器を採用し、解像度は140 eVに達することができ、隣接する元素スペクトルピークをうまく区別することができる。
Au/Ni/Cuめっき層を例に、正比計数箱計器スペクトル図を図1に示し、スペクトル図から銅ニッケル2元素のスペクトルピークの重なりが深刻であり、金のピーク形状とサンプル基板の重なり、要素の正確な分析に不利である。
図2は半導体SDD機器試験Au/Ni/Cuのスペクトル図であり、スペクトルから銅ニッケル金の3つの元素のスペクトルピークが明らかに区別され、元素の精密分析に有利であることがわかる。

フォーカス光路設計

インテリジェント型Thick 800 Aは*の光路交換装置を採用し、X線と撮像光を同じ垂直線に置き、レーザースポットとテストスポットが一体となり、X線の高さが焦点を合わせる。FPソフトウェアと協力してピント合わせズーム機能を達成し、微小不規則サンプルの正確なテストを実現する、高集積光路交換装置と受信機の角度は2倍に縮小でき、有効にラジアン傾斜ロフトによる誤差を減らすことができる。

特製フィルタによる低背景測定を実現

特製フィルタを通じてX蛍光の吸収と増強作用を効果的に低下させ、背景散乱を減少させ、超薄金属元素の検出限界を高め（0.005 umに達することができる）、超薄金属めっき層の厚さ分析を実現する。

高精度位置決め技術

高精度移動プラットフォームはテストポイントを正確に位置決めすることができ、プラットフォームモーターの繰り返し位置決め精度は0.005 mm未満、移動プラットフォームはテストソフトウェアによって可視化操作することができる：マウスは移動プラットフォームを制御することができ、マウスがクリックした位置は測定ポイントである。

FPアルゴリズム

インテリジェント型Thick 800 A分析コア技術――FPアルゴリズム
元素厚さ精密検査
マイクロ領域分析、薄膜分析、高級次スペクトル線分析

より専門的で人間的なテストソフトウェア

①主界面に曲線の高速切り替え機能を追加する、
②マウス移動ショートカットキーの変更にはctrlが必要なく、マウスをクリックすると、サンプルプラットフォームがどこに移動し、顧客のテストがより便利になる、
③めっき厚さの自動判定、顧客は必要に応じて判定基準をカスタマイズすることができる、
④作業曲線インタフェースは注釈名を編集可能に加え、主インタフェース曲線インタフェースに表示することができ、英語要素に注釈説明を行い、顧客区別を便利にし、インタフェースは顧客に対してより友好的になる
⑤試験報告書の自動生成、試験履歴データの表示、検索など
⑥業界解決方案、例えば精密部品のネオジム鉄ホウ素ニッケルめっき銅めっきニッケルめっき、電気泳動塗料の厚さ測定、アルミニウムプラスチック膜のアルミニウムめっき厚さ試験など