工業用原子間力顕微鏡

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概要

工業型原子間力顕微鏡（FM-Nanoview LS-AFM）は、試料のサイズ、重量はほとんど制限されず、特にウエハ、超大格子及び光学ガラスなどの大試料検査に適している。

製品詳細

製品の特徴：

◆商業化生産を実現するための大きなサイズ工業用原子間力顕微鏡

◆試料のサイズ、重量はほとんど制限されず、特にウエハ、超大格子及び光学ガラスなどの大試料検査に適している

◆試料台は拡張性が強く、多機器併用による原位置検査の実現に非常に便利である

◆ワンタッチ自動スキャン、複数のテストポイントを任意にプログラミングして迅速な自動化検査を実現

◆画像スキャン時にサンプルは動かず、プローブを駆動して行うMXYZ三次元移動測定イメージング

◆龍門架式走査ヘッド設計、大理石台座、真空吸着式ステージ

◆一体化された機械振動減衰及び環境騒音遮蔽ソリューションは、システム騒音レベルを大幅に低下させる

◆モータが加圧電気セラミックスの自動検出を自動的に制御するインテリジェント高速針送り方式、プローブ及びサンプルを保護する

◆スキャナ非線形補正ユーザエディタ、ナノ特性化と測定精度が優れている98%

技術パラメータ：

動作モード	接触モード、タップモード	Zしょうこうだい	ステッピングモータ駆動制御、最小ステップ10nm
オプションモード	摩擦力/横力、振幅/位相、磁力/静電力	Z昇降スケジュール	20 mm（オプション25 mm）
りょくスペクトルきょくせん	F-Z力曲線、RMS-Z曲線	オプチカルポジショニング	10 X光学対物レンズ
XYZスキャンモード	プローブ駆動式MXYZスキャン	カメラ	500万画素デジタルCMOS
XYそうさはんい	より大きい100um×100um	そういんそくど	0.6Hz〜30Hz
Zそうさはんい	より大きい10um	走査角度	0~360°
スキャン解像度	横方向0.2nm，縦0.05 nm	実行環境	Windows 10オペレーティングシステム
XYサンプルテーブル	ステッピングモータ駆動制御、移動精度1um	通信インタフェース	USB2.0/3.0
XY移動ストローク	200×200 mm（オプション300×300 mm）	計器構造	竜門架設型走査ヘッド、大理石台座
サンプルステージ	直径200 mm（オプション300 mm）	ダンピングモード	エアフロートダンピング+防音遮蔽カバー（オプションのアクティブショックアブソーバー）
サンプル重量	≤20キログラム

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