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IR-400チャンバ洗浄終点モニタリング用高級ガスモニタ

交渉可能更新05/24

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

IR-400チャンバ洗浄終点モニタリング用高級ガスモニタ

製品詳細

IR−400は蒸着中にチャンバ清をリアルタイムで監視することができる洗浄終点。洗浄プロセスを最適化することで、IR-400は洗浄時間とガス使用量を削減した。洗浄ガスの使用量が減少するとチャンバへのダメージが低下し、すべてのシステム部品の寿命が増加する

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