水素ガス質量流量制御器

MFC 330シリーズのガス質量流量計/コントローラは、キャピラリシリンダ流量センサ、バイパスシャントシステム、高精度比例弁、制御システムを含む構造を有している。

測定されたガスが入ってきたら、まずセンサとバイパス分流システムを通過します。センサによりガス流量をリアルタイムで測定し、高精度比例弁の動的応答によりガス流量を設定値まで急速に調整する。MFC 330は、環境温度の変化や輸出入の気圧変動があっても安定した流量制御を維持することができるように、流量を測定し調整する閉ループ構造を有している。

製品の特徴

精密質量流量測定/制御

高速応答性、高反復性

温度や圧力の影響を受けない

作動差圧範囲が大きい：0-1 MPa

低圧損失オプション

全金属比例弁オプション

統合モニタオプション

経済的で効果的なソリューション

主なパラメータ

媒体要求清浄乾燥ガス

ガス種類98+ガスオプション

レンジ0-2、10、20、50,100,300,500 sccm

0-1、2、5、10、20、30、50、100、200、500slpm

測定範囲0.5%F.S.（1：200）

制御範囲1%〜100%FS.（1：100）

精度±1%F.S.

繰り返し精度±0.2%F.S.

線形度±0.2%F.S.

制御応答時間<3秒

予熱時間5 min（T 95）、30分

バルブ常閉式