高精度、応答高速ガス流量計

愛拓利は2012年に設立され、質量流量計とコントローラの専門研究開発メーカーで、微小ガス流量の正確な測定制御に専念している。

愛拓利は自主知的財産権を持つ質量流量計とコントローラ製品を持ち、その核心部品であるキャピラリーシリンダ式流量センサ、層流差圧式流量センサ、高精度マイクロスケールバルブなどはすでに100%自主開発を実現し、核心生産設備は100%自主開発、全製造工程は自主制御可能である。

会社はISO 9001品質管理と製造認証を備え、標準化生産、規範化管理を通じて、愛拓利は持続的に安定的に顧客に高品質の合格製品を提供する、そして、顧客の応用シーンに基づいてカスタマイズされた製品とソリューションを提供し、多種の需要を満たす。

製品ファミリ：

熱式ガス質量流量計/コントローラ、層流差圧式ガス質量流量計/コントローラ

製品応用分野

半導体、光起電力、光ファイバ、FPD，真空コーティング、新エネルギー電池、分析機器、バイオ製薬、ガス製造、化学工業、食品、工業自動化などの分野

ガスの種類：90+種類のガスを選択可能

測定範囲：0.5%FS - 100%FS（1:200）

制御範囲;：1％F.S. - 100％F.S. (1:100)

精度：0.5%のF.S。

作動圧力差：0-1のMPa

耐圧：3のMPa

せいぎょおうとうじかん<1秒

バルブタイプ：ノーマルクローズバルブ

予熱時間：5分（T95）

レンジ：0-2 sccm…200slpm

ディスプレイ：内蔵/外付けディスプレイオプション

条件：20℃（設定可能）、1 atm

通信方式：0-5Vdc、4-20mA、RS485、RS232、CAN、EtherCat