堆積設備用高温分体ガス流量制御器及び流量計

一、製品の概要：堆積設備用高温分体ガス流量制御器及び流量計

u高温ガスの体積流量を迅速かつ正確に測定できる/マスフロー

uカスタム高速比例制御弁を用いた媒体体積流量/質量流量の精密制御

uアナログ入出力とRS-485デジタル通信

u内部には可動部品と熱部品がなく、耐振動試験により取り付け方向に敏感ではない

u内部補償型層流圧差技術を採用し、大流量範囲で流体が依然として層流運動を維持する

u提供するユーザーサポート、技術コンサルティング、迅速な設備校正サービス、条件付き終身保証を含む。

二、製品の応用：

--セラミックスプロセス、半導体、光ファイバなどの業界で高温ガスを使用する堆積装置などの堆積プロセス分野に広く応用されている。

--多変数測定及び50：1レンジの調整可能な比により、1台の熱式高温分体ガス質量流量制御器及び流量計だけで複数の装置の効果を置き換えることができる。

--せいど0.5％FS、反復性0.5%に届かない200ミリ秒の制御応答時間により、高温のプロセスガスがスムーズに動作することを保証します。

三、技術仕様：堆積設備用高温分体ガス流量制御器及び流量計