高感度シリカ濃度計

SLIA-300高感度シリカ濃度計

0.01µg/L（0.01 ppb）の高感度で超低密度シリカを測定する顧客のニーズを満たす

半導体製造工程で用いられる超純水は、イオン交換樹脂を用いてさらに精製することができる。イオン交換樹脂から急速に捕捉溶解したシリカは超純水の品質を制御することができ、これは製造工程にとって非常に重要である。

HORIBA Advanced Technoは、超低密度シリカの高感度測定を可能にするとともに、コンパクトなデスクトップモデルを提供し、実用性を高めるために、新しい「ロングライトパス長測定ユニット」を開発し、採用した。

この製品は自己診断などの一連の標準機能と高速応答と高感度などの新しい性能改善を有し、半導体生産プロセスにおける純水プロセスをより強い支持を提供している

●高感度と高繰り返し性

光ファイバ技術を用いて約1 mの長い光路を確保し、超低密度の高感度応答を実現した。この製品は5分間の高速測定過程を確保し、0-2µg/L測定範囲内で±2%F.S.の繰り返し精度を実現することができる。

●デスクトップモデルコンパクト設計

長光路長測定ユニット」の柔軟な構造も革命的なコンパクト設計を実現した。このデスクトップモデルは、狭いスペースを含むさまざまな設置条件に適しています。

●試薬消費を1/5に低減

試薬消費を以前の1/5に低減するために、反応ユニットは改良され、測定槽から分離された。また、測定ユニットは配管タイプに変更されています。「長光路長測定ユニット」を採用することで、試薬のランニングコストを大幅に削減することができます。

●試薬消費量を半分以上削減

試薬の消費を減らすだけでなく、試料水の消費も減らすことができます。「長光路長測定ユニット」を採用することで、高価な純水（試料水として使用）の消費が60%減少した。HORIBA Advanced Technoのシリカ濃度計は、現場のランニングコストを削減するのに役立ちます。

●濃度計誤操作の自己診断機能

誤動作の自己診断（例えば、試料水及び／又は試薬注入、補正エラー、セル内温度検出及び光源エラー）を実行する。エラーが検出されると、警告ランプが点灯し、テキストメッセージが表示されます。

自動補正による優れた保守性の実現

0点キャリブレーションを自動的に実行して、透過光を検査し、濁度を補正し続けます。

●最大6点まで測定可能（オプション）

最大6つの測定点を設定できます。1つのユニットで多点測定を行うことができます。

●光源採用：交換不要

単色性半導体光源を採用し、安定した光量とより長い寿命を提供する。光源として使用できます。

●長光路長測定ユニット：0.01µg/Lまで検出可能

測定ユニットは2層構造であり、透光性フルオロカーボン樹脂管がステンレス鋼管を貫通している。フルオロカーボン管と周囲の空気との屈折率の違いにより、管路側から入った光が他の側に達するまで管路で反射を繰り返す。

この光伝送機構は光ファイバの効率性と低ブロッキング原理の応用であり、より高い検出感度と高繰り返し性を実現した。

この長光路測定ユニットはフレキシブルな管路構造を採用し、サイズがコンパクトである。長さ1メートルのセルをデスクトップのコンパクトボディに格納することで、セルサイズを前世代モデルの1/8に縮小することに成功しました。

さらに、この測定ユニットの管路構造は、発色剤とサンプル水の消費をそれぞれ前の量の1/5と1/2に低減することにより、ランニングコストを効果的に低減することができる。

SLIA-300高感度シリカ濃度計仕様