高精度キャパシタ薄膜真空計VR-208 C-510 D（E）

一.高精度キャパシタ薄膜真空計VR-208 C-510 D（E）概要：

PBS-510xx-C1型（かた）モデルの一つ（全シリーズ製品型式及び分類は付録参照1）。その主な特徴は精度等級比較高、けいりょうはんぷくせいよし、採用DB15Dケーブルソケット（ラインビットとMKS 600薄膜真空計は同じである.いい代替使用)。PBS-510xx-C1型（かた）コンデンサフィルム真空計、測定機構の上から、それは伝統的な容量薄膜ゲージ*の良好な線形度、測定値は被測定ガス成分と無関係であるなどの利点を持っている、その構造上、次世代のマイクロコントローラユニットデジタルチップデバイスは、インテリジェント型のデジタル真空センサである。PBS-510xx-C1型（かた）コンデンサフィルム真空計だけでなく出力複数の基準アナログ量信号、まだ可（か）あるRS-485MODBUS、HARTなどのプロトコルのデータ通信インタフェースインテリジェントな科学機器との直接的なデータ通信を実現するためのオプション。

PBS-510A/B/C/D-C1型（かた）薄膜真空計は実験室環境に適している精密科学機器とセットになっている使用、温湿度、振動、測定ガス圧力変動率、空気清浄度、電磁干渉強度等ど保証高精度真空圧力測定、対後続の二次計器、収集回路精度等級、解像度、電力供給電源条件、保護アース、動作アースなどの技術的要件製品の関連規定に合致しなければならない。したがって、本モデルを使用する前に、この取扱説明書を詳しく読んで理解してください。

二.構造とインストールの使用方法

（一）構造：

3.↓

1.ハウジング、

2 KF-16真空速脱フランジインターーフェース； 1→ ↓ ←6

3.D 15ソケット、

4.Sフルネス調整穴、4 5

6.固定ナット。

（二）取り付け

1.強い振動、電磁干渉のある環境での使用を避ける。

設備は良好な動作接地線（接地抵抗<20~25オーム）、

設備ハウジングは良好に接地されている（保護アース線）； 2→

2. コンコンデンサはくまくしんくうけい 垂直位置に設置すべき（図のように）

角度キャリブレーションを再バンドし、それによる追加誤差を修正しなければならない。図1のPBS-510xx-C1型（かた）はくまくしんくうけい

3. しんくうせつぞく 標準採用NW16 ISO-KF（すなわち：KF-16）真空速取外しフランジ、付属品に備わる

304ステンレス鋼製のKF-16溶接フランジと、カフ、センターブラケット、O型ゴムパッキン、溶接フランジヘッドを介してデバイス配管またはコンテナに接続します。取付注意溶接フランジの溶接品質、フランジ端面、シールリングの清浄度及び清浄かどうかを検査し、真空シールが良好であり、取付が安定で強固であることに注意する。

（三）・電気的接続：

1.高精度キャパシタ薄膜真空計VR-208 C-510 D（E）の電気接続はD 15型15ピン高信頼性コネクタを採用し、その標準的な電源電圧は±15 Vdcである、電流：<35 mA、三線方式、出力信号：0〜10 VDC、電源電圧供給接地法。次の図に示すように、;

• 使用する±15VCD電源の場合、配線端子は以下の通り：

d7-------+15VDC--接続ケーブルの配線色：赤または茶色いろ

d6-------—15VDC------接続ケーブルの配線色：青

d 2----出力0--10 V----接続ケーブルの分線色：黄色または灰色（いろ）

D 12----出力ゼロビット（電源0ビット、ハウジング接続）----接続ケーブルの配線色：黒

• 24 VCD電源を使用する場合、配線端子は次の通りです。

d 7----24 VDC正極---接続ケーブルの分線色：赤

d6------ 。。。。。。負極-------接続ケーブルの配線色：青色

d 2----出力0--10 V----接続ケーブルの分線色：黄色またはグレー

D 12----出力ゼロビット（接続ハウジング）----接続ケーブル配線色：黒

図2.2ポンド/秒-510xx-C1型薄膜真空計の電気的接続説明

（四）・計量較正

PBS-510xx-C1型フィルム真空計は高精度計量器具に属し、定期的に計量検定しなければならない。検定に使用する標準器の精度は、検定対象機器の精度レベルよりも高くなければならない以上。使用中にゼロ点を調整するには、比較高真空度の真空源。自分自身調整、送信可能（プロジェクトを含む）中国合格評定国家認可委員会資格を検定する）現地行政計量技術機構検定調校およびキャリブレーション。提案された計量検定周期は1年である。

1.使用前に取扱説明書を詳しく読んで、誤操作を防止しなければならない。

2.故障現象が発生した場合、直ちにメーカーに連絡してください。人の故障を防ぐために、勝手に修理してはいけません。

3.計器の品質保証期間は18ヶ月で、品質保証期間を超えて、人為的に破損したり、自ら分解したりする者 ，メンテナンスコストを支払う必要がある、

4.二次計器を配接するには、その技術性能、入力インピーダンス、測定解像度がフィルム真空計の具体的な技術指標に合致しなければならないことを詳しく理解しなければならず、二次計器の入力インピーダンスが100 k〜1000 kオーム、測定AD変換解像度は20ビットより高い.；外付け電源電圧は薄膜真空計の具体的な規格要求に合致しなければならず、詳細は製品技術指標を参照。

主な技術指標：

測定範囲：（1Tor、10Tor、100Tor、1000Tor）

測定精度：レベル0.1、レベル0.25

解像度の測定：0.0001Tor、0.001Tor、0.01Tor、0.1Tor

しゅつりょくしんごう：4~20mA \\\\1--5V\\\\0～10V,

インピーダンス：<600Ω;

レスポンス時間：≦20ms

典型的使用周囲温度範囲：10—50C

電源電圧：±15V(標準）、±12 V、24 V直流,

材質：304ステンレス鋼

かふかあつりょく：400kP一

外形サイズ：Φ48x125mm

重さ：0.39 kg

真空インターーフェース標準：NW16 ISOKF（標準）

電気的接続：15ピンD-sub