高加速温湿度応力試験機

英語名：高加速温湿度ストレスチャンバー

製品別名：高加速温湿度応力試験機、温湿度バイアス寿命試験機、高加速温湿度応力試験機、無バイアス電圧UHAST未飽和高圧蒸気試験機、定常状態湿熱寿命老化試験機、BHAST。

製品の用途：高温高湿条件下での非気密パッケージICデバイス（固体デバイス）の動作信頼性を評価するために、チップ、半導体などの他の部品に対して温湿度バイアス（非バイアス）高加速応力寿命老化試験を行う。

じっこうしけんきじゅん：

GB/T 2423.40-1997電工電子製品環境試験第2部：試験方法Cx：不飽和高圧蒸気の一定湿熱

IEC 60068-2-66-1994環境試験第2−66部：試験方法.試験Cx：定常状態湿熱

JESD 22-A 100サイクルの温度・湿度オフセット寿命

JESD 22-A 101定常温度、湿度/バイアス、寿命試験（温湿度バイアス寿命）

JESD 22-A 102高圧蒸煮試験（耐湿性浸透促進）

JESD 22-A 108温度、バイアス電圧、動作寿命

JESD 22-A 110 HAST高加速温湿度応力試験

JESD 22-A 118温湿度無バイアス高加速応力実験UHAST（無バイアス電圧未飽和高圧蒸気）

製品仕様

PCT高圧蒸煮試験箱HAS試験箱（自動ドア）HAST高圧加速老化箱UHAST/BHAST

製品の特徴：

◎内胆は二重円弧設計を採用し、試験結露による滴水現象を防止でき、それによって製品が試験中に過熱蒸気の直接衝撃を受けて試験結果に影響を与えることを回避できる。

◎製品はJESD 22-A 100からA 118までのバイアス（BHAST）または非バイアス（UHAST）加速耐湿性試験および飽和高圧蒸気（蒸煮）試験を満たす。

◎製品は高加速温湿度応力HAST老化試験と高圧蒸煮に適合するPCT の耐湿性試験

試験方法の説明：

1. JESD 22-A 101-C：定常温度、湿度/バイアス、寿命試験（温湿度バイアス寿命）

ê試験条件には、温度、相対湿度、素子にバイアスをかける時間

ê常用試験条件：85℃±2/85%R.H±5/7.12 psia（49.1 kpa）/8 mA/1000 h

2.JESD 22-A 110：HAST高加速温湿度応力試験

ê一般的な試験条件：

130℃±2/85%R.H±5/33.3psia（230kpa）96h和110 ℃±2/85%R.H±5/17.7psia（122kpa）264h

3.JESD 22-A 118：温湿度無バイアス高加速応力実験UHAST（無バイアス電圧未飽和高圧蒸気）

ê試験条件は以下を含む：温度、相対湿度、蒸気圧力と時間

ê一般的な試験条件：

130℃±2/85%R.H±5/33.3psia（230キロパ）96時間（264時間)と110℃±2/85%R.H±5/17.7psia（122キロパ）264時間（96時間）サンプル数25ea/ロット、3ロット

4. JESD22-A102-E型：PCT の高圧蒸煮試験

5. JESD22-A102-D型：PCT の無バイアス高圧加速耐湿性試験

ê試験条件は以下を含む：温度、相対湿度、蒸気圧力と持続時間

ê一般的な試験条件：121℃±2/100%R.H/29.7psia（205キロパ）/ 24h、48h、96h、168h、240h、336h