ヘリオス5 Hydra DualBeam顕微鏡

ヘリオス5 Hydra DualBeam顕微鏡複数のイオン種を有し、3 DEM及びTEM試料の製造に適したプラズマ集束イオンビーム走査電子顕微鏡検査

Thermo Scientific Helios 5 Hydra DualBeam（プラズマ集束イオンビーム走査電子顕微鏡、PFIB-SEMと略称する）は4種類の異なるイオンの種類を主イオンビームとして提供することができ、サンプルと使用例（走査透過電子顕微鏡［STEM］や透過電子顕微鏡［TEM］サンプルの調製や3 D材料の特徴）に最適な結果を提供するイオンを選択することができる。

性能を犠牲にすることなく、アルゴン、窒素、酸素、キセノンを10分未満で簡単に切り替えることができます。この柔軟性はPFIBの潜在的な応用分野を大きく拡大し、イオン−試料相互作用を研究することによって既存のユースケースを最適化することを実現することができる。

Helios 5 Hydra DualBeamは革新的な新型多イオン種プラズマFIB（PFIB）カラムと単色Thermo Scientific Elstar UC+SEMカラムを結合し、先進的なフォーカスイオンと電子ビーム性能を提供する。直感的なソフトウェアとの自動化レベルと使いやすさは、関連するサブ表面体積情報を観察し、分析することができます。

ヘリオス5 Hydra DualBeam顕微鏡主な特徴

応用空間が広い

イオン源は以下の4種類の高速、切替可能なイオンの種類を提供することができ、応用空間は最も広い：Xe、Ar、O、N

先進的な自動化

オプションのAutotEM 5ソフトウェアを使用して、自動化されたマルチポイントを迅速かつ容易に実現げんい和オフサイトTEMサンプルの調製及びクロススライス

ナノスケールの実現周期が短い

SmartAlignおよびFLASHテクノロジーを使用して、あらゆる経験レベルのユーザーが最短時間でナノレベルの情報を得ることができます

電子及びイオンビーム誘起堆積及びエッチング

オプションのThermo Scientific MultiChemまたはGISガス輸送システムにより、DualBeamシステム上で実現される電子およびイオンビーム誘起堆積およびエッチング機能。

アーチファクトレスイメージング

統合されたサンプル清浄度管理と専用イメージングモード、例えばSmartScanとDCFIモード

高スループットと高品質

次世代2.5μAプラズマFIBカラムを用いて、高スループット、高品質、統計学に関する3 Dキャラクタリゼーション、クロススライス、マイクロ加工を行った。

高品質サンプルの調製

新型PFIBカラムを採用することで、500 Vの最終研磨を実現し、すべての操作条件下で優れた性能を提供することができ、キセノン、アルゴンまたは酸素を用いて高品質のガリウムフリーTEMとAPTサンプルを製造することができる。

完全なサンプル情報

カラム内とレンズ下に集積された6個までの集積プローブにより、明確で正確で電荷コントラストのない最も完全なサンプル情報を得ることができる

正確なサンプルナビゲーション

150 mm圧電ステージの高い安定性と正確性、または110 mmステージの柔軟性、およびオプションのチャンバ室内Thermo Scientific Nav-Camカメラにより、具体的な用途ニーズに応じてカスタマイズすることができます。