- メール
- 電話
-
住所
上海市虹口区宝山路778号ヘレン国際ビル5階
製品分類
Shanghai Juna Technology Co., Ltd
概要
CTRM 700レーザー共焦点顕微鏡は韓国Nanoscope Systems社が開発した熱反射式レーザー共焦点顕微鏡で、熱イメージングと高速3 Dレーザー共焦点顕微鏡を一体化し、同時にサンプルの熱イメージングと3次元形態を観察することができる。
製品詳細
CTRM 700は、韓国の출연구소が開発し、韓国のNanoscope Systemsが商業化運営している熱反射式レーザ共焦点顕微鏡。
CTRM 700熱反射式レーザ共焦点顕微鏡レーザ共焦点走査法を用いて試料表面または内部特定表面上の温度変化による反射率変化の分布を測定し、試料の熱分離画像を取得する。
Principles&Benefits（パフォーマンスと利点）：
熱反射顕微鏡（Thermal Reflectance Microscope）は、試料表面の光反射率変化を測定することに基づいて試料温度変化を測定する技術である。
共焦点熱反射顕微鏡技術は、従来の熱イメージング技術（赤外イメージング技術）よりも高解像度の熱イメージング画像を局所領域で得ることができるレーザー走査共焦点方法である。
Application field（応用分野）：
半導体装置の熱特性の測定と分析：
-フレキシブル表示パネルの欠陥チェック
-OLD内部欠陥検査
-センサユニットの赤外線画像解析
−酸化物薄膜トランジスタの熱特性
−3 D積層半導体の熱特性の測定分析
−OED装置の熱特性解析
−ガスセンサのMEMS装置の熱特性測定及び解析
−InGaZnO薄膜トランジスタの発熱特性及び信頼性解析
Specification（仕様）
| モデル | 顕微鏡CTRM 700 | ||||
| 対物レンズ倍率 | 10倍 | 20倍 | 50倍 | 100倍 | |
| 観察/測定範囲 | 水平（H）：μm | 1400 | 700 | 280 | 140 |
| 垂直（V） ：μm | 1050 | 525 | 210 | 105 | |
| 動作範囲：mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | |
| 開口数（N.A.） | 0.30 | 0.46 | 0.80 | 0.95 | |
| 光学ズーム | x 1からx 6 | ||||
| 観察/測定光学系 | ピンホール共焦点光学系 | ||||
| 高さを測る | 7 mm | ||||
| 解像度 | 横方向の解像度 | 0.3ミクロン | |||
| 轴向分辨率 | 0.8ミクロン | ||||
| ねつぶんかい | 1℃ | ||||
|
画像サイズ | 共焦点モード | 1024x768、1024x384、1024x192、1024x96 | |||
| サーモイメージングモード | 1024x768 | ||||
|
フレームレート | 共焦点モード | 10ヘルツから160ヘルツ | |||
| 热成像模式 | 0.3ヘルツ | ||||
|
レーザ共焦点測定光源 | 波長 | 638ナノメートル | |||
| 出力 | ~2mW | ||||
| レーザレベル | 3 b類 | ||||
| 光学顕微鏡光源 | 発光ダイオード | 10W | |||
| 光学観察カメラ | イメージング素子 | 1/2”カラー画像CCDセンサ | |||
| レコード解像度 | 640x480 | ||||
| データ処理ユニット | パソコン | ||||
| 電源 | 電源電圧 | 100～240 V AC電源、50/60ヘルツ | |||
| でんりゅうしょうひ | 最大500 VA。 | ||||
|
重さ | 顕微鏡 | 約50キロ （測定ヘッド単位：~ 14 kg） | |||
| コントローラー | 約8キロ | ||||
