クリプトン紫外オゾン洗浄器

クリプトン紫外オゾン洗浄器計器の概要

紫外オゾン洗浄機は無機基材（例えば：石英、シリコンシート、金、ニッケル、アルミニウム、ガリウム砒素、酸素化アルミニウムなど）表面有機汚染物質を除去する表面洗浄装置。

低圧紫外水銀ランプは同時に波長を放射することができる254nm和185nmの紫外光を照射して、この2種類の短波紫外光の照射の下で、活性化有機物分子と活性酸素原子は酸化反応を起こして、揮発性ガスを生成してサンプル表面から脱出して、それによってサンプル表面に付着した有機汚染物を除去します。

クリプトン紫外オゾン洗浄器応用分野

1、プリント基板組立（プリント基板）生産中に光洗浄を行った後、ワイヤ溶接時の溶着の接触面積を高め、接続強度を高め、さらにプリント基板の品質を高めることができ、

2、LCD、OLED生産中に光洗浄を行った後、基体表面の濡れ性を高め、さらに基体表面の接着力を強化することができる、

3、集積回路分野では、光洗浄は表面の原子清浄度を実現でき、しかもチップ表面に損傷を与えない、

4、半導体接着力の向上、カラーフィルター表面の有機汚染物の洗浄、光学ガラスめっきの向上に利用できる 膜品質などのシーン、

5、パラフィン、ロジン、油脂、人体油、残留レジスト、エポキシ樹脂、フラックスの除去、及び酸化膜付き金属表面処理、導電性ポリイミド接着剤上の有機汚染物の除去、光洗浄は非常に有効な方法である。

機能特徴

1.1採用5インチカラータッチパネル制御により、運転時間、加熱温度、ガスを自主設定できるトラフィックなどのフローパラメータ；

1.2一体型サンプルテーブルを加熱、昇降し、昇降ストローク50mm,サンプルとUVランプの間隔の調整を容易にする；

1.3サンプルテーブル恒温制御、インテリジェントPID温度調節、設置範囲RT ~ 200℃、温度制御精度±1℃；

1.4流量、加熱、UVランプはそれぞれ自動的に開閉制御され、処理中に手動で中断することができる；

1.5組み合わせ式処理方法，可（か）自由選択：試料台加熱機能を有効にし、酸素供給路を開くか；

1.6洗浄パラメータの設定を自動的に保存し、実験データの忘れを避けるための履歴を生成する；

1.7安全信頼性があり、設備運転中、洗浄倉倉カバーが開く時自動オフUVランプ、そして窓を弾いて提示して、紫外線の傷害を免れます；

1.8標準流量デジタル表示（酸素又はオゾンを入れることができる）、ガス路給気流量を調節することができる；

1.9上置き式サンプル台及び上ひっくり返し式蓋の設計、サンプルの出し入れが便利で、操作が簡単で迅速である；

1.10波長254 nmと185 nmの2波UVランプ源、ランプ寿命は約8000時間、UV反射カバーを装備してサンプル照射を均一化する；

1.11ワンタッチ化操作により、作業強度を減少する。

技術仕様