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メール
13817879697@126.com
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電話番号
13817879697
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アドレス
上海市松江区広富林路4855弄11号5階
バンネ自動化計器（上海）有限公司
概要
HORIBASTECE 40 MK 3/E 50 MK 3マスフローコントローラ
製品詳細
HORIBA STEC E 40 MK 3/E 50 MK 3フローコントローラ
HORIBA STEC E 40 MK 3/E 50 MK 3フローコントローラは、マスフローコントローラに必要な品質特性を変更せずにコストダウンを徹底した量産品です。材質や漏れ仕様は、一般モデルのSEC-400、SEC-500シリーズと完全に一致しています。主な用途はプロセス用のガス流量制御であり、重点的に繰り返し性に注目し、ガスの種類、流量を限定して大量生産を行い、大幅なコストダウンを実現した。定常流量、長時間の安定制御繰り返し制御の場合に最適である。また、研究所の簡易流量制御にも同様に適用される。
HORIBA STEC E 40 MK 3/E 50 MK 3フローコントローラの特徴
1.幅広い用途がある
2.コストメリットの追求、コスト削減の実現
HORIBA STEC E 40 MK 3ジャパン
日本HORIBA STEC E40MK3/E50MK3フローコントローラ仕様
| モデル | SEC-（マスフローコントローラ） | E40/E40MK3 | E50/E50MK3 |
| SEF-（質量流量計） | E40 | E50 | |
| 適用ガス種類*1 | 非腐食性ガス（MK 3型式はN 2、O 2、空気、H2、Ar、He) | ||
| ガス接触部の材質 | SUS 316 L.フッ素化ゴムPTFE、磁性ステンレス鋼 | ||
| バルブモデル | 非通電時に オフ | ||
| 標準流量レンジ（N 2対応F.S.） | 10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | |
| 流量制御範囲 （SECシリーズ向け） |
2〜100％F.S。 | ||
| りゅうりょうそくていはんい （SEFシリーズ向け） |
0〜100％F.S。 | ||
| 応答速度 | 1秒以内（T 98） | ||
| りゅうりょうせいど | ±1% F.S。 | ||
| ちょくせんせい | ±0.5% F.S。 | ||
| くりかえしせい | ±0.2% F.S。 | ||
| 作動差圧値値 （SECシリーズ向け） |
10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa（d） 10〜30 SLM：100〜300kPa（d） | ||
| しようあつりょく （SEFシリーズ向け） |
300 kPa（G）以下 | ||
| たいでんあつ | 1 MPa（G）以下 | ||
| がいぶもれりつ | 1×10-8 Pa・m 3/s（He）以下 | ||
| 使用環境温度 | 5〜50℃（精度の確保：15〜35℃） | ||
| 流量設定信号 | 0.1〜5 VDC（入力インピーダンス1 MΩ以上）／2〜100%F.S. | ||
| りゅうりょうしゅつりょくしんごう | 0〜5 VDC（最小負荷抵抗2 kΩ） | ||
| 駆動電源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | + 15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |
| 標準コネクタ*2 | 1/4 SWLタイプ | ||
