HORIBASTEC-N 112 MGMSEN-114 MGMガスマスフローコントローラ

サマリー
長年にわたり先端技術製品をリードしてきた市場発展の経験に基づいて、私たちは顧客のニーズを満たす一連の品質流量計製品を提供してきました。
ガスは様々な工業分野に広く使用され、太陽電池、燃料電池の研究と製造から、大きな注目を集めている再生エネルギープロジェクトは世界各地から支持されている。半導体、液晶パネル、電子業界で使用される発光ダイオード（LED）の研究と製造に至る。これらの製造プロセスにおいて、各種ガスの流量を正確に測定し、制御することは作業効率を著しく向上させ、ひいてはエネルギーを節約し、生産性を向上させる。HORIBA STECは品質流量計の発展に力を入れ、半導体、光電、LEDの製造を含む一流の製造プロセスにサービスを提供し、顧客のニーズに応えるために新しい製品を開発し続ける
特徴
HORIBA STECは、お客様のニーズに合った製品セットを提供します。

モデル	信号伝送モードの選択	電源の選択
SEC-N 102シリーズ	ディジタル信号伝送 ▶RS 485 F-NETプロトコル アナログ信号伝送 ▶0〜5VDC	±15VDC（±5%） HORIBA STEC’SはPEシリーズの電源製品を提供することができる。
SEC-N 104シリーズ	DeviceNet信号伝送	ODVA規格に準拠
SEC-N 106シリーズ	PROFIBUS信号伝送 アナログ信号伝送 ▶0～5 VDC、0～10 VDC 4～20 mA	PROFIBUS規格に準拠 24VDC（13から32VDC）

このモデルは、さまざまな小流量から大流量までのニーズに適しています。
流量制御範囲はフルレンジを基準とした2～100%


高精度
■高精度（定点を基準とする）MFCの線形度は近似多項式曲線によって補償される。これにより、すべての流量制御範囲を高精度に制御することができます。実際のガス流量の正確性をさらに高めるために、各種プロセスガスの校正データはHORIBA STEC標準のガス測定システムに従って検査される。

流量制御範囲全体で高応答速度を実現
■Newly variable PID algorithm：1 second high-speed response最新の可変PID演算法則：1秒高速応答SEC-N 100シリーズは最新開発の「可変PIDシステム」を搭載しており、すべての設定点に対して1秒以内の高応答速度を実現することができる。フルレンジとガスの種類を変更すると、可変PIDは現在の設定点に応じて変化し、PIDパラメータも最適化されます。

マルチガス、マルチレンジのソリューション
■専用のソフトウェアはユーザーに自由に仕様を変更できる能力を与える最新のマルチガス・マルチレンジシステムは、ユーザーがガスの種類やレンジを自由に変更できるようにしています。

コストを考慮し、新しい設計概念を運用する
N 100シリーズの代替として、HORIBA STECは、超清浄処理及び圧電セラミックバルブを備えたZ 500シリーズを提供することもできる。通知がない場合は、生産性を向上させる必要がある部品や製品プロセスを変更することがありますが、製品の仕様変更には関連しないことに注意してください。
製品相関図及びその他