HORIBASTEC-8440 F 8450高温質量流量コントローラ

サマリー
質量流量計はガス流量を測定または制御するための装置である。流量は一般的に体積流量と質量流量に分けられるが、ガスの体積は外部の温度と圧力の影響を受けやすく、正確に測定するには、絶えず測定条件を変えて絶えず変化する外部環境に合わせる必要がある。一方、質量流量は、測定ガスの質量を利用するものであり、質量は外部の環境の影響を受けないため、高精度な流量検出と制御を提供することができ、半導体製造プロセスで広く使用されている。
特徴
圧電弁を搭載し、高温環境で使用できるマスフローコントローラです。
1.高温に適している：150℃のベーキングを満たすことができる
2.製品ラインアップに使用温度を満たす製品モデルがある
3.超清浄タイプ：ガス接合部オールステンレス構造
4.MOCVD用有機金属材料、低蒸気圧材料、腐食性ガスの流量制御に最適
仕様

SEC-8340 SLは本体加温ヒータを搭載
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：80〜100℃

SEC-8340SM 本体加温ヒータ搭載
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：100〜120℃

SEC-8440LSL型
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：15〜35℃

SEC-8450LSL型
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	10/20 SLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：15〜35℃

SEC-8455LSL型
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	30/50 SLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：15〜35℃

SEC-8460LSL型
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	50/100のSLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：15〜35℃

SEC-8440LSM型
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：35〜60℃

SEC-8450LSM型
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	10/20 SLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：35〜60℃

SEC-8455LSM型
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	30/50 SLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：35〜60℃

SEC-8460LSM型
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	50/100のSLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：35〜60℃

SEC-8440LSH
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：60〜80℃

SEC-8450LSH
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	10/20 SLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：60〜80℃

SEC-8455LSH
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	30/50 SLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：60〜80℃

SEC-8460LSH
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	50/100のSLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：60〜80℃

セック-8440SL
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：80〜100℃

セック-8450SL
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	3/5/10のSLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：80〜100℃

セック-8455SL
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	10/20 SLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：80〜100℃

セック-8460SL
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	20/30/50 SLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：80〜100℃

SEC-8440SM
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：100〜120℃

SEC-8450SM
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	3/5/10のSLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：100〜120℃

SEC-8455SM
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	10/20 SLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：100〜120℃

SEC-8460SM
ガス接触部の材質	SUS-316L型
バルブタイプ	NO：非通電時：オン
ひょうじゅんりゅうりょうレンジ	20/30/50 SLM
流量制御範囲	2〜100%F.S.（フルレンジ）
りゅうりょうせいど	±1.0%F.S.（フルレンジ） 使用温度：100〜120℃

製品相関図及びその他