HORIBA品質流量コントローラHORIBASTEC-E 50

概要要る

主な用途：
工業炉、熱処理炉用燃焼可能ガス制御
ニードル溶接用燃焼可能ガス制御
水素、酸素、プロパン、アルゴンなどをはじめとする各種燃焼可能ガスの流量制御
洗浄ガスの流量制御
実験装置上のガス流量制御
自動化が必要な流量制御装置
消費流量の総量を把握したい機器等

特徴：
魅力、価格で微小流量から大流量までの制御を実現する、
高速応答で、1秒以内に流量設定値に到達します。最新設計の制御回路と高速対応の流量センサーを搭載し、受信した電力信号に基づいて流量の初期安定性が比較的良く、流量変化の実施プログラムにより常に安定した流量を維持して測定制御することができる。（大流量対応型式：SEC-E 80は2秒以内に対応）
高精度、±1.0%F.S
自動ゼロ調整機能を備えた信頼性の高い
正確な質量流量制御を行うことができ、質量流量制御器とは、質量流量を計測し、受信した電力信号に基づいて任意の流量を自動的に行うことができる制御器の一種である。そのため、使用環境（例えば温度、圧力）が変化しても、修正する必要がなく、正確に質量流量制御を行うことができる。
自動流量機能バルブを採用する、流量制御バルブは自動流量機能制御型を採用しているため、本体電源が供給されていない場合、バルブは自動的に閉状態に調整されます。停電時にも流量を最小限に抑えることができる。

動作原理：
1、入口から入ってきたガスは流量センサーとバイパスに分流される。
2、センサーを通じて質量流量の割合で形成された温度変化情報を得て、回路の中で電力信号に交換する。
3、この信号は増幅回路、補正回路、0-5 Vの線形電力信号を通じて外部に出力され、一方で比較制御回路に入力される。
4、外部から得られた設定信号とセンサから得られた流量信号は比較回路に差分信号を形成し、次のバルブ駆動回路に搬送する。
5、流量制御弁はできるだけこの差分信号を「0」にして、流量を設定流量にずっと制御させる。


• 仕様

  SEC-（マスフローコントローラ）	E50
  適用ガス種類*1	非腐食性ガス（MK 3型式はN 2、O 2、空気、H2、Ar、He)
  ガス接触部の材質	SUS 316 L.フッ素化ゴムPTFE、磁性ステンレス鋼
  バルブモデル	非通電時に オフ
  標準流量レンジ（N 2対応F.S.）	20/30 SLM
  流量制御範囲 （SECシリーズ向け）	2-100%のFS
  りゅうりょうそくていはんい （SEFシリーズ向け）	0-100%のFS
  応答速度	1秒以内（T 98）
  りゅうりょうせいど	±1% F.S。
  ちょくせんせい	±0.5% F.S。
  くりかえしせい	±0.2% F.S。
  作動差圧値値 （SECシリーズ向け）	10 SCCM-5 SLM：50-300kPa（d） 10?30 SLM:100-300kPa（d）
  しようあつりょく （SEFシリーズ向け）	300 kPa（G）以下
  たいでんあつ	1 MPa（G）以下
  がいぶもれりつ	1×10-8 Pa/m 3/s（He）以下
  使用環境温度	5？50℃（精度の確保：15-35℃）
  流量設定信号	0.1-5 VDC（入力インピーダンス1 MΩ以上）/2-100%F.S.
  りゅうりょうしゅつりょくしんごう	0-5 VDC（最小負荷抵抗2 kΩ）
  駆動電源	+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	+ 15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
  標準コネクタ*2	1/4 SWLタイプ

• 技術仕様

  *1：記載以外のガスの種類については、別途ご相談ください。
  *2標準ジョイント以外のジョイントも適用できます。別途相談相談してください。
  ※SEC-E 40/E 50/E 40 MK 3/E 50 MK 3にはオートクリア機能が搭載されています。
  ※入口圧力はSEC-E 40/50/60/E 40 MK 3/E 50 MK 3：最大値300 kPa（G）、SEC-70/80：最大値350 kPa（G）以下。
  ※SCCM、SLMはガスの流量単位（mL/min、L/min、at、0℃、101.3 kPa）を表す記号です。