100段クリーンオーブン

100段クリーンオーブンBXDH-180F

半導体製造におけるシリコンシート、ガリウム砒素、ニオブ酸リチウム、ガラスなどの材料の塗布前の前処理焼成、塗布後の硬膜焼成及び現像後の高温焼成に用いる、電子液晶表示、LCD、CMOS、IS、医薬、実験室などの生産及び科学研究部門、不揮発性及び非可燃性爆発物の乾燥、熱処理、老化などの他の高温試験にも使用できる。

100段クリーンオーブンBXDH-180F

一.主要技術指標

1.1、温度範囲： 室温＋30℃～200℃；昇温速度：3-6℃/min

1.2、温度変動度：±0.5℃、

1.3、温度均一度：100℃±2℃、200℃±4℃、250℃±5℃、（むふか恒温20 min後に検出）、

1.4、作業室寸法（単腔）：600（幅）*500（奥行き）*600（高）ミリメートル；

1.5、採用日本「富士」温度コントローラ、コントローラ液晶表示及び設定、PID自動演算、薄膜設定、精度±0.3%FS、

1.6、清浄度（クラス）：100

1.7、電力：12.0キロワット

1.8、電源：380 V/50 Hz

二、 ガス流制御方式：

2.1、強制循環通風、制御システムは設定した温度点に基づいてPID自動演算出力の結果によってヒータの出力量を制御し、最終的に平衡に達する

2.2、気流循環装置：内蔵空調室、循環ダクト及び通風モータ、

2.3、加熱方式：輸入カバー式電熱器（SHEATHED HEATER）無塵無酸化電熱発生器を採用する。

2.4、仕切り板の要求：各キャビティに2つの仕切り板を配置し、ステンレス板で穴を開けて製造し、仕切り板の四辺は箱体と密接に接触する。

三、箱体構造

3.1、箱体外壁材料：外箱は良質な冷間圧延板を用いて射出成形する，腐食に強く、美しく気前がいい；

3.2、箱体内壁材料：採用高品質ステンレス板は全周アルゴンアーク溶接し、アルカリソーダ水で洗浄し、机台自体のほこりの発生を効果的に防止する。

3.3、保温材料：採用極細超白グラスファイバー120 K級高密度保温綿Fill地（ち）熱エネルギーの浪費を防止した。

3.4、箱体は全体の組み合わせ構造であり、上部は電気制御キャビネットであり、内装の電気制御システムであり、下部はキャビティである。電気制御盤の外周の温度は≦50度で、人員のやけどを避けることができる。

3.5、窒素ガスインターフェースを取り付け、箱内の空気を排出し、ベーキングされたシリコンシートが窒素ガス中で行われることを確保する。（窒素ガス流量計は箱体の正面に取り付け、吸気口は箱体の後部に取り付け、8 mm管径の吸気口を取り付ける必要がある。）

3.6、箱の中身効率的なフィルタリング器、有効なフィルタリング99.99%0.3 um以上の粒子は、より清浄な効果を達成した。

四、測量制御システム：

4.1、制御パネル：パネル上の機能標識が完備し、設備の運行はそれぞれ「起動」「停止」で制御し、各種の状態指示が完備し、一定運行指示、プログラム運行指示、加熱指示、タイミング終了指示、超温指示がある

4.2、コントローラの要求：採用富士おんどせいぎょき、プロセス要件に応じて一定温度運転を設定することができ、および多段プログラム編集を行うことができます。

4.3、運行方式：プログラム運行、一定運転（デバイス上のデフォルトプログラム実行）；

一定運転時：設備に電磁ロックを取り付け、設備運転時電磁ロック動作によりドアをロックする； プログラムが終わったら、箱のドアを開けることができます。

4.4、独立した超温保護装置を採用し、温度が超過しないことを確保する。保護装置が動作すると自動的に加熱電源を遮断して音響光警報、超温保護制御器に採用発光ダイオードディスプレイコントローラ

4.5、電気制御盤の超温保護及び緊急スイッチ。

4.6、温度降下方式：しぜんこうおん。

五、設備の有する セキュリティ対策：

5.1、安全で信頼できる接地；

5.2、作業室の超温保護、

5.3、ヒータ短絡保護；

六、設備の輸送と現場設置

6.1、設置設備：油圧フォークリフト又はクレーン1台。

6.2、設備のアンインストール/位置付け：設備が顧客の現場に運ばれた後、顧客は設備の損傷の有無を検査し、もし損傷がなければ、顧客は設備のアンインストールを担当して顧客が指定した位置に着く。

6.3、設置前準備：設備の設置前に、お客様は事前に関連準備をしなければならない。具体的なパラメータは（設備の正常な運行条件）を参照

6.4、現場の施工：顧客が責任を負う：設備の使用現場の設備は位置につけて、設備の取り外し、設備の外接電線の配線から設備の総スイッチまで、工場建物の換気システム（風カバーなどを含む）を含む。

七、 製品実行基準：JB/T5520-91乾燥箱技術条件

八、 技術資料を配備する： 技術資料：製品合格証、取扱説明書、計器取扱説明書など