グロー放電分光計

品質管理、新材料開発のためのツール

表面処理プロセス表面被覆プロセス材料とプロセス処理された近表面は化学成分と被覆厚さを正確に分析することができ、ガラス、セラミックス、ダイヤモンド類、防腐被覆層などの非導電材料と被覆層を分析することができ、YIの非導電体、半導体深さプロファイルの高速分析手段のみ

GDOES機器は層状構造を有する材料の迅速な深さプロファイル解析の手段を提供する

電子顕微鏡、Augerなどのマイクロ領域分析技術に対して、GDOESは大領域分析能力を備え、材料のマクロ成分を完全に特徴づけることができる

材料の前処理、製造技術が簡単で、迅速で、分析効率が高い

GDOES応用の分野、典型的な分野は以下の通り：

・金属工業・自動車工業と自動車サプライヤー・鉄鋼工業・めっき工業・精密機械工業・航空宇宙部門・半導体材料・光起電力産業

・PVD/CVD・製薬工業（担体、ヒトGONG骨GE/関節.….）・電子工業・プラスチック工業・ガラスセラミックス工業・表面技術・研究開発大学

グロー放電分光計アプリ

試験元素：水素（H）-ウラン（U），~ 76元素

含有量範囲：0.Xppm級〜%含有量

テスト深さ：表面（ナノメートル）から数百ミクロン

試験精度：含量-RSDが2%深さより優れている-RSDが5%より優れている

コーティング層の種類：−PVD／CVD／ECD−めっき（亜鉛、銅、ニッケル、クロム、チタン、スズなどの各種金属コーティング層）−リン化、パッシベーションなどの各種化学層−薄膜電池／フレキシブル電池（CIGS、LIB...）、−アモルファスシリコン、テルル化カドミウム、銅亜鉛スズ硫化物など−ダイヤモンドコーティング−熱処理（浸炭、窒化、共浸透など...）−真空蒸着、マグネトロンスパッタリングめっき膜

適合試料：-導体材料表面の各種コーティング層（導体または非導体）-非導体材料表面の各種コーティング層（導体または非導体）-薄膜/フレキシブル材料表面の各種コーティング層

テストサンプル形態：-ソリッドステート：平面、サーフェス

薄膜（はくまく）

空気中の易酸化膜（特殊なカプセル化サンプル倉庫を提供可能）

GDOESを使用グロー放電分光計の分析利点

・正確な分析性能：（ほとんど）元素周期表のすべての元素は分析でき、水素、酸素、窒素、炭素、

フッ素、塩素等

・低検出限界：0.Xppmまで低い

・再現性が良い

・分析可能な極薄層（ナノスケール）

・分析可能な導電性及び非導電性サンプル

・試料の製造に手間をかける必要がない

・分析時間が短い→結果が早い

・操作が容易な機器とソフトウェア-WinGDOES

・ランニングコストが極めて低い

GDOESは優れた性価比で固体材料の深さ断面と元素含有量分析に高性能技術を提供する。ある角度では、GDOESはGDMS、Auger、XRF、SEM、SNMS、SIMSなどの既存の方法の良い代替品であり、コストが著しく低下している。