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喜開理(中国)有限公司
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主な製品:

化学17>製品

ジェネレータユニット(幅10.3 mm)

交渉可能更新04/25
モデル
製造者の性質
プロデューサー
製品カテゴリー
原産地

概要

高速かつ安定した応答性を実現する小型発生器ユニット。小型・軽量、特に高さ寸法のコンパクト化を実現した。【ノズル径】0.4,0.5,0.6(㎜)【吸入流量(L/min(ANR))】2〜9.5業界半導体製造工程(後工程)

製品詳細

【小型・軽量】
設置スペースが限られているお客様に最適です。
製品は高度にコンパクト化されている。

【高速かつ安定した応答性】
メインバルブは直動バルブを採用し、高速かつ安定した応答性を実現する。
(ON/OFF=5㎜/sec以下)

【4種類の圧力センサ】
圧力センサには4種類のアナログ出力タイプが用意されている。

モデル の名前をあげる ノズル直径 コメント
VSN-H 単品タイプ・高真空・中流量タイプ Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6
VSN-E 単品タイプ・高真空・小流量タイプ Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6
VSNM-H 統合型・高真空・中流量型 Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6
VSNM-E 統合型・高真空・小流量型 Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6
VSNM-Z 統合型・ハイブリッド仕様 -