ガス質量流量計

G300マスフローメータ特徴

高精度、高解像度制御

低電力、電力＜0.5 W

集積20種類の基礎ガス種類

10種類の混合ガスをカスタマイズ可能

デジタル制御、RS-485 Modbus RTU通信モード

広い流量レンジ

予熱不要

設置方向制限なし



自己温度補償、補償範囲0-50℃

安定性が高い

小さいパッケージサイズレンジと精度の概要

使用可能なレンジ：

最大 0-50slpm

最小0-1 sccm

常備レンジは型式選択表を参照してください

レンジ比：1000：1

フルレンジ精度：±0.2%

読み取り精度：±0.8%

再現性：±0.2%FS

デジタルデザインの概要

マスフローメータ標準高精度センサーとデジタル回路、デジタル回路は測定と制御に必要な必要なものを完成することができる基本機能があります。G 300シリーズは標準のRS-485を採用Modbus RTU通信モード。RS-485バスの最大拡張性255台のデバイスに同時に使用されます。

応用分野

気相及び液体クロマトグラフィー装置

半導体プロセス

環境モニタリング装置

マイクロ反応装置及び材料調製実験装置（CVD）

ガス発生器

はいきこんごうきシステム