負圧又は真空チャンバ用のガス質量流量計及びMFC

一、負圧又は真空チャンバ用のガス質量流量計及びMFC 製品の概要：

1、精度が高く、応答が速く、網口が付いている、

2、管状分流、詰まりにくい、

3、各種低圧及び高圧配管及び真空引き環境に適用する。

4、予熱時間が短く、漂亮が小さく、信頼性が高い、

5、アナログ量の入出力は二次表または流量計算機を用いて流量を制御し表示することができる、

6、デジタル通信RS 485/232 Modbus、Profibus、Devicenetなどのプロトコルを選択可能、

二、製品の応用：

真空被覆/太陽エネルギー、水素エネルギーなどの新エネルギー/半導体/石油石化ファインケミカル/電力冶金

環境保護/食品包装/バイオ医薬/新材料/工業製作/各種分析機器/ガス製造システム

三、負圧又は真空チャンバ用のガス質量流量計及びMFC製品仕様：

フルレンジ範囲：2 SCCM～300 SLM

精度：±0.5%F.S

線性：±0.5%F.S

繰返し精度：±0.2%F.S

応答時間：流量計：＜0.1 s、流量制御器：＜0.2 s

デジタル量：RS 232/485、MODBUSプロトコル

シミュレーション量：0～5 V、4-20 mA、1～5 V

電源供給：±15 VDC、24 VDC

動作温度：0～50℃

作動圧力降下：<0.01 Mpa（流量計）

作動差圧：0.1 ~ 0.5 Mpa（流量制御器）

耐圧：3 MPa/10 MPa

漏れ率：1×10-9 SCCSHe

温度係数：±0.025%F.S/℃

ベース材質：ステンレス鋼

シール材質：フッ素ゴム、クロロプレンゴム、ニトリルゴム、ポリテトラフルオロエチレン、パーフルオロエーテルFFKM/FPMなど

継ぎ手：φ3、φ6、1/8'、1/4'、3/8'、1/2'…カードカバー、フランジ、速挿し、宝塔など。。。

必要なパフォーマンス要件が上記のパフォーマンスと異なる場合は、カスタマイズをコミュニケーションすることができます。