全自動ウェハ総合測定機

一、全自動ウェハ総合測定機紹介：

基板製造、ウエハ製造、及びパッケージ技術検査、3 C電子ガラススクリーン及びその精密部品、光学加工、表示パネル、MEMSデバイスなどの超精密加工業界に広く応用できる。測定可能な各種は平滑から粗さ、低反射率から高反射率までの物体表面、ナノメートルからミクロン級のワークの厚さ、粗さ、平坦度、ミクロ幾何学輪郭、曲率などを含み、SEMI/ISO/ASME/EUR/GBTの4大国内外基準に基づく計300種類以上の2 D、3 Dパラメータを評価基準として提供する。

二、全自動ウェハ総合測定機優位

1、非接触厚さ、三次元微納形の一体測定

◆厚さ測定モジュールと三次元形態、粗さ測定モジュールを集積し、1台の機械を使用して厚さ、TTV、LTV、BOW、WARP、粗さ、及び三次元形態の測定。

2、高精度厚さ測定技術

◆高分解能スペクトル共焦点対射技術を用いてWaferを効率的に走査する。

◆多自由度の静電放電コーティング真空チャックを組み合わせ、ウエハ規格は最大12インチまで支持できる。

◆マルチポイント、線、面を含む自動測定をプログラム可能なMapping追従技術を採用。

3、高精度三次元形態測定技術

◆光学白色光干渉技術、精密Z方向走査モジュールと高精度3 D再構築アルゴリズムを採用し、Z方向分解能は最高0.1 nmまで可能である。

◆独自の防振設計により地面振動と空気音波振動ノイズを大幅に低減し、高い測定再現性を得る。

◆機械視覚技術は画像Mark点を検出し、仮想治具はサンプルを矯正し、多点形態に対して自動連続測定を行うことができる。

4、大行程高速龍門構造プラットフォーム

◆大ストロークドア構造（400 x 400 x 75 mm）、最大移動速度500 mm/s。

◆高精度花崗岩台座と梁、全体構造は安定、信頼性がある。

◆重要な運動機構は高精度直線ガイド、ACサーボ直駆モーター駆動を採用し、解像度0.1μmのラスタシステムを組み合わせ、設備の高精度、高効率を保証する。

5、操作が簡単で安心

◆XYZの3方向変位調整機能を集積したハンドルは、ステージの並進、Z方向フォーカスなどの測定前準備を迅速に完了することができる。

◆二重衝突防止設計を備え、誤操作による対物レンズと測定対象物の衝突による損傷を回避する。

◆電動対物レンズ切替機能を備え、観察を迅速かつ簡単にする。

三、豊富な測定項目：

厚さ測定、粗さ測定、TTV測定、画像サイズ測定、反り測定、輪郭測定、Bow測定

四、技術パラメータ：