電界放出走査電子顕微鏡

JSM-IT810型電界放出走査電子顕微鏡自動化技術を利用して、計器のデバッグから観測分析までの操作効率を高めました！

JSM-IT810型電界放出走査電子顕微鏡シリーズFE-SEMは多機能性と高空間分解能を結合し、自動化操作を実現した。エンコード不要のイメージングとEDS分析自動化機能を内蔵し、ワークフローをよりスムーズに効率化します。また、すべてのSEMユーザーが高品質なデータとより良いユーザーエクスペリエンスを得ることができるようにするための機能も追加されました。これらの機能には、SEM自動調整パケット、台形補正機能（EBSD試験で非常に有用）、および表面形態を観察するためのLive 3 D再構成機能が含まれる。

FE-SEMの動作はJSM-IT 810シリーズほど簡単ではありません。

主な特徴

1. 自動観察分析機能「Neo Action」

SEM観測とエネルギースペクトル解析（EDS）を自動的に実行するインテリジェントな操作

サンプル：ジュルズベルグのコンドライト（L3.6）のコンドライト、着陸電圧：5 kV

2. 自動キャリブレーション機能「SEM自動調整パッケージ」

標準サンプルを用いて自動倍率調整、電子ビーム対中和EDSエネルギー較正を行った。定期的に点検して設備が優良な状態にあることを確保する。

3. リアルタイム3 D機能

5段半導体型検出器は、後方散乱電子信号を選択することができる。外側の4段から取得した2次元画像は、3次元画像再構築に使用できます。

新しいLive-3 D機能は、サンプルのトポロジーをリアルタイムで測定し、検査することができます。

4. 一体化EDS

一体化EDS集積はSEM観察とEDS元素分析の間の障害を解消した。画面には点、面、線、MAPなどのさまざまな分析モードがあり、すぐに分析することができます。