エッチング装置PlasmaPro 1000 Astrea

新型のPlasmaPro 1000 Astreaエッチング装置、デバイスはPSSであってもよく、GaNとAlGaInPは大量のエッチングを提供してソリューションを提供し、HBLEDメーカーの良率向上とユーザーコストの削減に役立つ。

この装置は55 x 2”〜3 x 8”のウエハを一括エッチングすることができ、装置独特の設計はHBLED材料の厳しい化学要求に適合している。PlasmaPro 1000 Astreaは、顧客チップの最大光出力を保証するために、損失が低く、生産量が高い。

この装置の高構成は、処理チャンバを独立モジュールまたはクラスタ構成としてもよく、4面クラスタ装置にアップグレードして3つの生産モジュールをサポートすることもできる。

この設備の高い稼働率と保守性を確保するために、主な特性と利点は次のとおりです。

• 業界をリードし、直径690 mmと高い均一性が要求されるプラズマ源を処理することができる。

• 490 mmの電極で55 x 2の大量処理が可能」、14x4”, 7 x 6”〜3 x 8”サイズのウエハ

• 高コンダクタンスポンプシステム

• デュアル吸気ポートによりプロセス調整がスムーズに

• ウェハ冷却に大きなクランプを提供する

• Z字型の移動方式はウェハの優れた均一性を確保する

• ハードウェアの安定性とメンテナンスの容易さ、最適な稼働時間の確保