米国エンコユーN&Qシリーズリソグラフィ4008

ブランド：エンコユー（N&Q）

モデル：NXQ400-8

産地：アメリカ

エンコーユフォトリソグラフィーは半自動と全自動の2つのシリーズに分かれている。ここで、N&Q4000シリーズのフォトリソグラフィは半自動システムを主としている。このシステムの優れた操作性、超高解像度、均一な光学系、現代の先進的な近接式と接触式リソグラフィ及び超高性価比、エンコユーリソグラフィシステムすでに全国各地の多くの有名企業、研究開発センター、研究所、大学に採用され、フォトリソグラフィーシステムの第一選択となっている。

二、技術パラメータ：

1、チップサイズ：5mm~200mmの輪郭をかく/パッチと不規則フラグメント（不規則フラグメントの特殊なチャック設計をサポート）、

2、露出波長：350nm-450nm（他の波長はオプション）、

3、水銀ランプの出力：350W/500W（その他の電力はオプション）、

4、解像度：より優れている0.5um；

5、露光モード：近接式露光を支持し、各種接触式（真空接触、ソフト接触、ハード接触など）露光、

6、出射光強度範囲：10mW/cm2~55mW/cm2@405nm；

7、一定光強度または一定電力モードをサポートする、

8、露出時間：0.1~999.9s；

9、アライメント精度：デュアルHDカラーCCD +デュアルHDカラーモニター、アライメント精度を達成0.4ミクロン内

10、マスクサイズ：2 x 2インチ～9 x 9インチ(2 x 2インチマスク変換器が必要)；

11、光強度均一性Uniformity：

<±1% over 2” 領域;

<±2% over 4” 領域;

<±3% over 6” 領域;

12、両面リソグラフィ：背面赤外線アライメント（IR BSA）と光学裏面アライメント（OBS BSA）、両面アライメント精度≦2μm；

13、電源：高感度光強度制御可能電源。

オプションモデル：

NXQ400-6

NXQ400-8

NXQ800-6

NXQ8006 Sapphire

NXQ800-8

三、製品特徴：

片面アライメントと両面アライメント設計をオプションでサポートする、

高精細カラーデュアルCCDレンズには最新鋭の分割視野顕微鏡レンズ（無限遠補正によるCCDレンズ設計）、双頭高精細フルカラー対物レンズ（単視野または分割視野はユーザーが柔軟に選択できる）、

HDカラーデュアルディスプレイ、

新しい空力軸受ガイド設計、高精度、低摩耗、アフターメンテナンス不要の場合、

ある自動実行楔形誤差補償、平坦化後自動位置決め機能、

操作が簡単で、マルチオペレータの同台使用をサポートの友好的な操作インターフェース、

ハンドルコントロールモードのユニークなデザイン

採用LED透過対物レンズ照明技術、超強アライメント輝度を有する、

採用ベース無限遠補正の顕微鏡レンズスキーマ、

回折反射防止の高効率光学光路設計、

セキュリティ機能付きの温度と気流センサ、

パノラマコリメータレンズの光線偏差半角: <1.84度、

設備の安定性、耐久性が非常に高い、