電子ガス専用ガスクロマトグラフ

半導体製造：半導体製造過程において、電子ガスの純度に対する要求が厳しい。HA-9660-Plusは、酸素、窒素、水分などのガス中の微量不純物を検出し、ガス品質が生産基準に合致することを確保することができる。$nフラットパネル表示：液晶ディスプレイ（LCD）と有機発光ダイオード（OLED）の生産において、HA-9660-Plusは、表示パネルの品質と性能を保証するために、生産過程で使用される電子ガスを分析し制御するために使用される。$n太陽電池：太陽電池の生産において、HA-9660-Plusはシラン、リンなどを検出できる

　　HA-9660-Plus電子ガス専用ガスクロマトグラフの応用

超微量ガス分析の分野では、HA-9660-Plus電子ガス専用ガスクロマトグラフ極めて重要な役割を果たしている。それは電子ガス中の不純物含有量を正確に分析し、監視し、ガス品質が厳格な工業基準に適合することを確保することができる。また、この機器は研究と開発の分野にも適しており、顧客がガス反応過程を深く理解するのを助け、それによって電子ガスの製造技術を最適化する。

PDHID S Pro+検出器は超高感度の検出器であり、ほとんどの無機及び有機化合物に対して高い応答があり、特に超純ガスの分析に適しており、ng/g（ppb）級の検出器を検出することができる。新たに制定されたガス製品の国家基準では、従来の熱伝導などの検出器の代わりにヘリウムイオン化検出器を採用することが規定されており、ガス製品の分析能力が向上している。華愛クロマトグラフィーが主要な起草任務を担う国家標準GB/T 28726-2012「ガス分析ヘリウムイオン化ガスクロマトグラフィー」も2013年02月01日から正式に公布、実施された。

電気分離設計：HA-9660-Plusが採用した電気分離設計は、電気モジュールをガス路モジュールから隔離する。この革新は電磁干渉を減らし、分析精度を高めただけでなく、設備の安全性を大幅に向上させた。回路とサンプル分析部分の分離は、潜在的な交差汚染と安全上の危険性を効果的に防止した。

EMCでは、お客様のニーズに合わせて、シングルチャネルとマルチチャネル構成を提供しています。単一チャネルは単一ガス分析に適しており、多チャネルは多成分、多サンプル同時分析をサポートしている。特にPDHID S Pro+検出器の配置は、多種のガスの超微量分析を支持し、高い感度と強い安定性を持ち、半導体業界の理想的な選択である。